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J-GLOBAL ID：202202248449583542   整理番号：22A1034428

ナノ製作のためのピエゾプローブの高速走査【JST・京大機械翻訳】

High-Speed Scanning of Piezo-Probes for Nano-Fabrication

著者 (3件)： Croft Donald (University of Utah) ,  McAllister David (University of Utah) ,  Devasia Santosh (University of Utah)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： IMECE97  ページ： 451-458  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ピエゾプローブの低走査速度は走査プローブベースのナノ製作技術の基本的限界である。圧電プローブの構造振動により,圧電プローブの基本振動周波数の約1/10まで,達成された典型的な走査速度が制限される。ピエゾプローブのより速い走査を,圧電動力学の反転を用いて,圧電振動を補償するために,圧電プローブに適用したフィードフォワード入力電圧を用いて,ここで達成した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 速度 ,  プローブ ,  圧電気 ,  圧電気振動 ,  フィードフォワード ,  振動数 ,  *走査
準シソーラス用語： 走査速度 ,  入力電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (1件)： 製作