文献

J-GLOBAL ID：202202248971043128   整理番号：22A0695814

ミリ波およびサブミリ波応用のためのデバイスのオンウエハ測定の精度を改善するためのサブアレイSHORTデエンベディング【JST・京大機械翻訳】

Subarray-SHORT De-Embedding for Improving Accuracy of On-Wafer Measurements of Devices for Millimeter and Submillimeter-Wave Applications

著者 (3件)： Pouya Behnam (Texas Analog Center of Excellence, University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA) ,  Singh Suren (Keysight Technologies, Santa Rose, CA, USA) ,  O Kenneth K. (Texas Analog Center of Excellence, University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA)
資料名： IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques  (IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques)
巻： 70  号： 2  ページ： 1432-1441  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0229A  ISSN： 0018-9480  CODEN： IETMAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高Qまたは高カットオフ周波数(f_T)の1ポート構造(例えば,ミリメートルおよびサブミリ波応用に対する,金属ドレドサイド半導体(MOS)バラクタおよびショットキーダイオード)のための脱埋込み技術を,|リアクタンス|と抵抗(|X|/R)の間の大きな比率を有する構造のベクトルネットワーク解析の限界を緩和するために提案した。より低い|X|/Rを持つ試験下のデバイスのより少ない数を持つサブアレイを,脱埋込みのための超高Q OPEN構造の代わりに使用した。この技術はカットオフ周波数(f_T)のより正確な測定を提供する。測定したf_Tの平均%変動および測定周波数範囲(50≦550GHz)にわたる直列抵抗は,30%λ≦45%減少した。より重要なことに,試料および周波数に対する提案した方法に対するf_Tの%変動範囲は,従来の超Q OPEN構造を用いた脱埋込みよりも約50%小さい~20%未満であった。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 金属 ,  半導体 ,  ベクトル ,  Schottky障壁ダイオード ,  リアクタンス ,  *EHF波 ,  可変容量ダイオード ,  周波数 ,  *サブミリ波 ,  遮断周波数 ,  埋込み【挿入】
準シソーラス用語： 直列抵抗 ,  *サブアレイ ,  ネットワーク解析 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 周波数変換回路  (NC05030J) ,  マイクロ波・ミリ波通信  (ND08020W)

タイトルに関連する用語 (4件)： ミリ波 ,  サブミリ波 ,  応用 ,  サブアレイ