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J-GLOBAL ID：202202249449219122   整理番号：22A0311083

不均一磁場におけるダスト粒子の存在におけるプラズマシースの研究【JST・京大機械翻訳】

Study of Plasma Sheath in the Presence of Dust Particles in an Inhomogeneous Magnetic Field

著者 (7件)： Deka K. (Centre of Plasma Physics, Institute for Plasma Research, Sonapur, Kamrup(M), Assam, India) ,  Paul R. (Centre of Plasma Physics, Institute for Plasma Research, Sonapur, Kamrup(M), Assam, India) ,  Sharma G. (Centre of Plasma Physics, Institute for Plasma Research, Sonapur, Kamrup(M), Assam, India) ,  Adhikari S. (Department of Physics, University of Oslo, Oslo, Norway) ,  Moulick R. (Department of Physics, Rangapara College, Sonitpur, Assam, India) ,  Kausik S. S. (Centre of Plasma Physics, Institute for Plasma Research, Sonapur, Kamrup(M), Assam, India) ,  Saikia B. K. (Centre of Plasma Physics, Institute for Plasma Research, Sonapur, Kamrup(M), Assam, India)
資料名： Springer Proceedings in Physics  (Springer Proceedings in Physics)
巻： 265  ページ： 363-373  発行年： 2022年 
JST資料番号： W5066A  ISSN： 0930-8989  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ処理デバイスでは,エッチング,スパッタリング,および堆積プロセスにおける汚染物質として,負に帯電した塵埃粒子が現れた。プラズマのエッジ領域におけるダスト粒子の動力学は,そのようなプロセスで重要な役割を果たす。本研究は,不均一磁場の存在におけるプラズマシースの特性に及ぼすダスト粒子の影響を調べるために,低圧プラズマを扱う。多流体モデルを用いて,電子,イオンおよび塵埃粒子の動力学をシミュレーションした。すべてのプラズマ種の支配方程式を4次Runge-Kutta(RK4)法を用いて数値的に解いた。ダスト粒子の存在が,電位,電場,粒子密度,および粒子速度などのプラズマシースパラメータに大きく影響することが観察された。本研究は,シースにおける負に荷電したダスト粒子の動力学を理解するのに役立つと考えられる。したがって,本研究は,種々のプラズマ支援産業応用のためのプラズマ壁相互作用と同様に,材料のプラズマ処理に役立つ可能性がある。Copyright The Author(s), under exclusive license to Springer Nature Singapore Pte Ltd. 2021 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： イオン ,  エッチング ,  *プラズマ ,  電位 ,  電場 ,  電子 ,  密度 ,  *プラズマさや ,  低圧 ,  プラズマ壁相互作用 ,  パラメータ ,  粒子速度 ,  *不均一磁場 ,  プラズマ処理
準シソーラス用語： 粒子密度 ,  支配方程式 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (2件)： プラズマシース ,  不均一磁場

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  固体-プラズマ相互作用  (BJ02033W)

タイトルに関連する用語 (4件)： 不均一磁場 ,  ダスト粒子 ,  プラズマシース ,  研究