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J-GLOBAL ID：202202251309344953   整理番号：22A0311822

異方性サイズ依存板としてのマイクロおよびナノ電気機械センサのセンシング素子の動力学【JST・京大機械翻訳】

Dynamics of Sensing Element of Micro- and Nano-Electromechanical Sensors as Anisotropic Size-Dependent Plate

著者 (3件)： Barulina Marina (Institute of Precision Mechanics and Control Problems, Russian Academy of Sciences, Saratov, Russia) ,  Golikov Alexey (Institute of Precision Mechanics and Control Problems, Russian Academy of Sciences, Saratov, Russia) ,  Galkina Sofia (Institute of Precision Mechanics and Control Problems, Russian Academy of Sciences, Saratov, Russia)
資料名： Springer Proceedings in Mathematics & Statistics  (Springer Proceedings in Mathematics & Statistics)
巻： 363  ページ： 157-169  発行年： 2022年 
JST資料番号： W5074A  ISSN： 2194-1009  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロメカニカルエレクトロニクスセンサは科学と技術のさまざまな分野で広く用いられている。自動車産業,海洋と宇宙技術,ナビゲーション装置,軍用車両,消費者エレクトロニクス,ロボット工学,スマートシステム-チは,これらのセンサが使用される領域の完全なリストではない。ナノ電気機械センサ(NEMS)は,マイクロメカニカルエレクトロニクスセンサの進化の次の段階である。センシング要素のナノサイズとNEMSの他の成分のため,それらは,それらの動力学の研究のための非古典的アプローチを必要とする。NEMSの1つの問題は材料異方性または直交異方性に対するそれらの特性の依存性である。本論文では,異方性サイズ依存板としてのマイクロおよびナノ電気機械センサのセンシング要素の運動方程式を,修正偶応力理論に基づいて得た。センシング要素を,センシング要素の底で分布力の下で長方形のコンソール板とみなした。仮想変位の原理の動的バージョンと積層複合板とシェルの三次理論を,運動と自然境界条件の微分方程式を得るために使用した。Copyright Springer Nature Switzerland AG 2021 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 運動方程式 ,  偶応力 ,  検出 ,  微分方程式 ,  消費者 ,  軍用車両 ,  数学モデル ,  *電気機械 ,  境界条件 ,  海洋 ,  電子技術 ,  MEMS
準シソーラス用語： ロボット工学 ,  NEMS ,  積層複合板 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： MEMS ,  NEMS ,  サイズ依存プレート ,  数学モデル ,  修正偶応力理論 ,  ナノ電気機械センサ ,  センシング要素

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： 異方性 ,  サイズ ,  電気機械 ,  センシング ,  動力学