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J-GLOBAL ID:202202252197521045   整理番号:22A0311088

熱陰極放電における磁気フィルタを横切る高および低エネルギーElectron密度の変化【JST・京大機械翻訳】

Variation of High and Low Energetic Electron Densities Across a Magnetic Filter in a Hot Cathode Discharge
著者 (2件):
資料名:
巻: 265  ページ: 423-431  発行年: 2022年 
JST資料番号: W5066A  ISSN: 0930-8989  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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ホットカソード放電では,圧力(等しいかそれ以上)10-4mbarで,2つの電子温度グループが存在することが分かった。実験では,磁気フィルタは,全チャンバを2つの領域に分割する電子冷却器として作用する:ソースとターゲット。ソース領域で発生するプラズマはターゲット領域に向かって拡散する。異なる実験パラメータで高エネルギーおよび低エネルギー電子基の密度を計算し,比較研究を行った。プラズマ生成条件を変えることによって,高エネルギー電子と低エネルギー電子の密度をターゲット側に観測した。磁気フィルタの使用にもかかわらず,その密度は低エネルギー電子のものより低いが,高エネルギー電子はターゲット領域にまだ見出された。作動圧力の増加とともに,高および低エネルギー電子基の密度は減少したが,フィラメント電流が増加すると,2つの電子基の密度の著しい増加があった。一方,放電電圧の増加とともに,低エネルギー電子の密度は増加し,一方,高エネルギー電子の密度はわずかに減少した。Copyright The Author(s), under exclusive license to Springer Nature Singapore Pte Ltd. 2021 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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