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J-GLOBAL ID：202202252220322885   整理番号：22A0478172

異なる粒径のCVDダイヤモンド層の表面および構造特性に対するUVおよび熱誘起酸化の効果【JST・京大機械翻訳】

The effect of UV and thermally induced oxidation on the surface and structural properties of CVD diamond layers with different grain sizes

著者 (8件)： Dychalska Anna (Faculty of Material Engineering and Technical Physics, Poznan University of Technology, ul. Piotrowo 3, 60-965 Poznan, Poland) ,  Trzcinski Marek (Institute of Mathematics and Physics, Bydgoszcz University of Science and Technology, al. S. Kaliskiego 7, 85-796 Bydgoszcz, Poland) ,  Fabisiak Kazimierz (Department of Production Engineering Management, University of Bydgoszcz, Unii Lubelskiej 4c, 85-059 Bydgoszcz, Poland) ,  Paprocki Kazimierz (Institute of Physics, Kazimierz Wielki University, Powstancow Wielkopolskich 2, 85-090 Bydgoszcz, Poland) ,  Koczorowski Wojciech (Faculty of Material Engineering and Technical Physics, Poznan University of Technology, ul. Piotrowo 3, 60-965 Poznan, Poland) ,  Koczorowski Wojciech (Centre for Advanced Technologies, Adam Mickiewicz University, ul. Umultowska 89C, 61-614 Poznan, Poland) ,  Los Szymon (Institute of Mathematics and Physics, Bydgoszcz University of Science and Technology, al. S. Kaliskiego 7, 85-796 Bydgoszcz, Poland) ,  Szybowicz Miroslaw (Faculty of Material Engineering and Technical Physics, Poznan University of Technology, ul. Piotrowo 3, 60-965 Poznan, Poland)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 121  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,異なる粒径の多結晶CVDダイヤモンド層の構造特性に及ぼす水素処理の影響に関する既報の研究の継続である。ここでは,最初に空気中でUV照射し,次に空気中で300°Cでアニールすることにより,2段階で酸化した水素化ダイヤモンド層の研究を報告した。各プロセスステップの後,ダイヤモンド層の構造と表面特性をRaman分光法,SEM,XPS,およびCA(接触角)測定によって監視した。報告した研究は,ダイヤモンド層の化学組成,ダイヤモンド表面の形態,および構造特性に及ぼすUVオゾン酸化と低温熱酸化の影響を調べた。本研究は,微結晶とナノ結晶ダイヤモンド層が酸化によって異なる挙動を示すことを示した。一般に,微結晶試料はUV処理中に容易に酸化された。これは,ダイヤモンド粒径と,それらの試料中に存在する非晶質炭素相のより少ない秩序形態の両方に起因すると考えられる。また,構造研究は,最大のダイヤモンド粒子を有する微結晶試料中の非晶質炭素相の僅かな秩序が,両方の酸化過程に対して生じ,sp2/sp3相の黒鉛化を暗示していることを明らかにした。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 化学組成 ,  *酸化 ,  微結晶 ,  接触角 ,  低温 ,  *ダイヤモンド ,  黒鉛化 ,  水素化 ,  紫外線照射 ,  多結晶 ,  *構造特性 ,  Raman分光法
準シソーラス用語： アモルファスカーボン ,  ナノダイヤモンド , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： CVDダイヤモンド膜 ,  Raman分光法 ,  表面特性 ,  構造特性 ,  表面化学 ,  酸化

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 粒径 ,  CVDダイヤモンド ,  構造特性 ,  誘起 ,  酸化