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J-GLOBAL ID：202202252342110301   整理番号：22A0324635

熱い電子拡散低温アニーリングによる中波長赤外領域におけるワイヤグリッド偏光子の消光比の増強【JST・京大機械翻訳】

Enhancement in the extinction ratio of a wire grid polarizer in the mid-wavelength infrared range via hot electron diffused cold-annealing

著者 (9件)： Kim Hyesu (Department of Nano Manufacturing Technology, Korea Institute of Machinery and Materials (KIMM), Daejeon, Republic of Korea) ,  Kim Hyesu (Department of Nanomechatronics, University of Science and Technology (UST), Daejeon, Republic of Korea) ,  Ji Seok Young (Department of Nano Manufacturing Technology, Korea Institute of Machinery and Materials (KIMM), Daejeon, Republic of Korea) ,  Ji Seok Young (Department of Nanomechatronics, University of Science and Technology (UST), Daejeon, Republic of Korea) ,  Cho Sung-Hak (Department of Nano Manufacturing Technology, Korea Institute of Machinery and Materials (KIMM), Daejeon, Republic of Korea) ,  Cho Sung-Hak (Department of Nanomechatronics, University of Science and Technology (UST), Daejeon, Republic of Korea) ,  Jung Joo-Yun (Department of Nano Manufacturing Technology, Korea Institute of Machinery and Materials (KIMM), Daejeon, Republic of Korea) ,  Chang Won Seok (Department of Nano Manufacturing Technology, Korea Institute of Machinery and Materials (KIMM), Daejeon, Republic of Korea) ,  Chang Won Seok (Department of Nanomechatronics, University of Science and Technology (UST), Daejeon, Republic of Korea)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 578  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 中波長赤外(MWIR)領域におけるワイヤグリッド偏光子(WGP)として動作する単層Au格子の作製と偏光特性増強について,理論的および実験的研究を行った。フェムト秒レーザ(FSL)アニーリングを行い,ナノ転写印刷(NTP)により作製したWGPの性能限界を克服し,その結果を,走査電子顕微鏡,原子間力顕微鏡,透過型電子顕微鏡,およびFourier変換赤外分光法を用いて,従来の熱アニーリング法と比較した。その結果,FSLで焼鈍したWGPの消光比は3~5μm波長範囲で1378(~31dB)に達し,これは非アニールWGPの2.18倍の改善に対応する。この結果は,簡単なNTPとFSLアニーリングプロセスを通して,低コストで大きな面積でMWIR WGPを製造できることを示唆し,最終的に改善された性能を有するWGPを産出する。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *焼なまし ,  *赤外線 ,  走査電子顕微鏡 ,  *低温 ,  金 ,  偏光性 ,  *偏光子 ,  転写印刷 ,  *ホットエレクトロン ,  透過型電子顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  FTIR分光法 ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： *赤外領域 ,  中赤外線 ,  *ワイヤグリッド偏光子 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ワイヤグリッド偏光子 ,  消光比 ,  中赤外線 ,  ホットエレクトロン拡散低温アニーリング

分類 (2件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： 電子拡散 ,  低温 ,  アニーリング ,  波長 ,  赤外領域 ,  ワイヤグリッド偏光子 ,  消光比 ,  増強