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J-GLOBAL ID：202202253154545813   整理番号：22A1148209

3D磁界検知用AMRスイッチ

3D Magnetic Sensing AMR Switch

著者 (6件)： 堤弘毅 (村田製作所) ,  坪川雅 (村田製作所) ,  栃下光 (村田製作所) ,  前田豊 (村田製作所) ,  小西隆寛 (村田製作所) ,  秋山修 (村田製作所)
資料名： 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan (CD-ROM))
巻： 2022  ページ： ROMBUNNO.2-083  発行年： 2022年03月01日 
JST資料番号： S0653B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・電力量の改ざん防止のために,3D磁界検知の需要増加を受けて,AMRを用いた1素子で3D磁界検知可能な磁気スイッチを開発し,検出抵抗に全方向の磁界を受けられる検出抵抗パターンを採用。
・高透磁率・低保磁力のNiFe(78:22)の磁性体めっきの寸法は,外径が大きいほど水平感度が,厚いほど垂直感度が向上するため,外径120μm/厚さ40nmに設定。
・固定抵抗は磁性体めっきでシールドし,更に,磁性体めっきにより垂直磁界が水平化される位置に検出抵抗を配置することで3D磁界検知を実現。

シソーラス用語： 検出 ,  スイッチ ,  三次元 ,  磁性めっき ,  感度 ,  磁気抵抗 ,  *磁気抵抗素子 ,  *磁気センサ ,  ニッケル合金 ,  鉄合金 ,  磁性合金
準シソーラス用語： 検知 ,  異方性磁気抵抗 ,  *磁気抵抗センサー

分類 (2件)： 磁電デバイス  (NC03100X) ,  磁気の計測法・機器  (AD07060U)

引用文献 (4件)：

• K. Maenaka: Handbook of Sensors and Actuators, VOL.3, 221~231(1996)
• H. Konno and H. Kataniwa: J.Appl.Phys., VOL.69, NO.8, 5933~5935 (1991)
• J. Daughton, J. Brown, E. Chen, R. Beech, A. Pohm, and W. Kude: IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS, VOL.30, NO.6 4608~4610 (1994)
• J. M. Daughton: Journal of Magnetism and Magnetic Materials 192, 334~342 (1999)

タイトルに関連する用語 (2件)： 3D ,  磁界