文献

J-GLOBAL ID：202202253572677729   整理番号：22A0788450

ポリイミドフィルム上の立位Ligカンチレバーを用いた多軸触覚センサ【JST・京大機械翻訳】

Multi-Axial Tactile Sensor Using Standing Lig Cantilevers on Polyimide Film

著者 (2件)： Nakashima Rihachiro (Keio University,Japan) ,  Takahashi Hidetoshi (Keio University,Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2022  号： MEMS  ページ： 688-690  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,立位レーザ誘起グラフェン(LIG)カンチレバーを用いた多軸触覚センサについて報告した。提案したセンサ素子の製作プロセスは,2種類のレーザのそれぞれを1回だけ照射する。さらに,LIGカンチレバーは柔軟なポリイミド(PI)膜上に形成されるので,カンチレバーは熱可塑性変形を介して立位で容易に保持できる。その結果,プロトタイプ二重軸センサは,高い独立性で法線および剪断応力の測定を実現した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *片持梁 ,  熱塑性 ,  剪断応力 ,  多軸 ,  センサ ,  生産工程 ,  立位 ,  触覚センサ ,  プロトタイプ ,  グラフェン
準シソーラス用語： レーザ誘起 ,  センサデバイス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： ポリイミドフィルム ,  立位 ,  カンチレバー ,  多軸 ,  触覚センサ