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J-GLOBAL ID：202202255128515009   整理番号：22A1163494

単結晶LiTaO_3膜ベースの高周波弾性表面波共振器とエレクトロニクス応用【JST・京大機械翻訳】

Single-Crystalline LiTaO₃ Film-Based High-Frequency Surface Acoustic Wave Resonators and Electronics Applications

著者 (7件)： He Xingli (School of Electronic and Information Engineering, Soochow University, Suzhou, China) ,  Zhou Jian (College of Mechanical and Vehicle Engineering, Hunan University, Changsha, China) ,  Xuan Weipeng (Key Laboratory of RF Circuits and Systems, College of Electronics and Information, Ministry of Education, Hangzhou Dianzi University, Hangzhou, China) ,  Zhan Zhengjia (College of Mechanical and Vehicle Engineering, Hunan University, Changsha, China) ,  Zhang Yunjing (School of Electronic and Information Engineering, Soochow University, Suzhou, China) ,  Li Peng (School of Electronic and Information Engineering, Soochow University, Suzhou, China) ,  Kong Linghui (School of Electronic and Information Engineering, Soochow University, Suzhou, China)
資料名： IEEE Microwave and Wireless Components Letters  (IEEE Microwave and Wireless Components Letters)
巻： 32  号： 4  ページ： 301-304  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0099A  ISSN： 1531-1309  CODEN： IMWCBJ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高品質(Q)因子を有する超高周波表面音響波(SAW)デバイスは次世代無線通信システムの必須部品である。本研究では,単結晶LiTaO_3/SiO_2/Si[LT-on-絶縁体(LTOI)]多層ヘテロ構造を有する高性能で超周波数SAWデバイスを報告した。作製したSAW共振器は,1.81から8.33GHzまでの周波数を有する多重共鳴モード(Rayleigh,Sezawa,LLSAWモード)を示した。特に,Rayleigh波周波数が5.0GHz以上のSAW共振器と,波長600nmの2300の高いQ値を実現した。相速度の変化,各共鳴モードに対するQ因子,および正規化LiTaO_3膜厚に対する有効結合係数(k2_eff)を系統的に調べた。LTOI多層ヘテロ構造に基づく提案した高周波SAWは,低い温度係数(TCF,-20ppm/K)を有する。さらに,~3.5GHzの中心周波数を有する高性能SAWバンドパスフィルタを達成した。本研究は,超高周波数エレクトロニクス応用のためのLiTaO_3単結晶薄膜ベースSAWの大きな可能性を示した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *単結晶 ,  帯域フィルタ ,  波長 ,  *HF【周波数】 ,  SHF【周波数】 ,  UHF【周波数】 ,  多重化 ,  Q値 ,  弾性表面波素子 ,  *電子技術 ,  モード ,  正規化 ,  温度係数
準シソーラス用語： ヘテロ構造 ,  共振モード , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  フィルタ一般  (NC04021I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 単結晶 ,  高周波 ,  弾性表面波共振器 ,  エレクトロニクス ,  応用