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J-GLOBAL ID:202202256129144550   整理番号:22A0438974

次世代MEMS磁場センシング応用のための磁気電気ヘテロ構造【JST・京大機械翻訳】

Magnetoelectric heterostructures for next-generation MEMS magnetic field sensing applications
著者 (2件):
資料名:
巻: 897  ページ: Null  発行年: 2022年 
JST資料番号: D0083A  ISSN: 0925-8388  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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磁気電気ヘテロ構造は,材料科学分野における研究コミュニティのための最新の話題の1つである。圧電と強磁性秩序間の相互作用は磁気電気結合をもたらす。磁気電気結合に基づく磁気センサは,それらの低コスト,容易な製作,高感度,および室温動作のため,フチュリスティックデバイス応用に対して注目を集めている。一連のマイルストーンが,磁気電気ベースの磁気センサのセンシング性能の増加で達成された。本レビューは,磁気電気センサに関連した最近の研究を編集する。異なる設計におけるこれらの磁気電気センサの出力ノイズと自己バイアス効果を,最近の研究を編集することによってまとめた。最初に,誘起電圧機構に基づく磁気電気センサを,バルク,薄膜,およびカンチレバー構成において調査した。磁気電気結合は,雑音レベルの減少によりカンチレバーの電気機械共振周波数で改善する。しかし,これらのカンチレバーベースのセンサは,共振モードにおいて狭い帯域幅に悩まされ,それらの共振周波数以下で感度の低下を示す。最近出現した信号変調とデルタ-E(ΔE)効果に基づく磁気電気センサーを,低周波またはDC磁場を測定するために徹底的にレビューした。変調信号ベースの磁気電気センサにおいて,電気的,磁気的,回転および振幅変調技術を調査した。しかし,外部キャリア場要求は付加的磁気雑音を生成し,感度を低下させる。他方,共振周波数の磁場誘起変化をΔEベース磁気センサで測定した。ΔEベースセンサをカンチレバーと音響共振器構成で考察した。ハイブリッド磁気電気配置も,フラックスゲートと磁気抵抗技術で調べた。地球磁場,脳からの磁気信号および人体の心臓の空間方向を検出するために,磁気電気センサーのリアルタイム応用を調べることができる。これらの磁気電気センサーは,生体医療,地磁気,磁気異常検出における次世代の実用化のための未来の候補である。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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磁気的性質 

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