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J-GLOBAL ID：202202256156544924   整理番号：22A1007569

溶融Si-Cr合金中窒素の熱力学量の評価

Thermodynamic Evaluation of Nitrogen in Molten Si-Cr Alloys

著者 (4件)： 川西咲子 (東北大 多元物質科研) ,  八野田将吾 (東北大 多元物質科研) ,  助永壮平 (東北大 多元物質科研) ,  柴田浩幸 (東北大 多元物質科研)
資料名： 材料とプロセス(CD-ROM)  (Current Advances in Materials and Processes (CD-ROM))
巻： 35  号： 1  ページ： ROMBUNNO.J-18  発行年： 2022年03月01日 
JST資料番号： X0994B  ISSN： 1882-8922  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・パワー半導体材料n型半導体SiCのドーパントN濃度制御のための単結晶溶液成長時の雰囲気中窒素分圧制御を目的に,標題熱力学量としての窒素溶解度を測定。
・Si-Cr合金を挿入したアルミナ坩堝をAr-N₂雰囲気で窒素分圧を制御しながら1680-1800°Cで10分加熱後急冷し,窒素濃度を燃焼・熱伝導度法で測定。
・窒素溶解度は窒素分圧の1/2乗に比例し,Cr濃度増加に伴い増加し,合金中窒素の無限希薄活量係数と温度の逆数の関係は高Cr量で正,低Cr側では負の温度依存性。
・低Cr側の温度依存性の逆転は,Si-Cr間の強い引力相互作用とその温度依存性の影響が顕著に表れたSi-Cr合金に特有の性質と判断。

シソーラス用語： *ケイ素添加合金 ,  N型半導体 ,  ドーパント ,  *溶解度 ,  分圧 ,  係数 ,  温度依存性 ,  濃度依存性 ,  相互作用 ,  制御 ,  *クロム合金 ,  ケイ素 ,  *窒素 ,  *溶融金属
準シソーラス用語： 活量係数 ,  濃度制御 ,  半導体シリコン

分類 (1件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X)

引用文献 (3件)：

• Yoshikawa and Morita: Mater. Trans., 46 (2005), 1335.
• Austin Chang et al.: Prog. Mater. Sci., 32 (1988), 97.
• Jacob and Alcock: Acta Metall., 20 (1972), 221.

タイトルに関連する用語 (5件)： 溶融Si ,  Cr合金 ,  窒素 ,  熱力学 ,  評価