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J-GLOBAL ID：202202256608356405   整理番号：22A1033471

横方向および垂直力の同時検出のための独立ピエゾ抵抗センサを持つ新しい二重軸AFMカンチレバー【JST・京大機械翻訳】

A Novel Dual-Axial AFM Cantilever With Independent Piezoresistive Sensors for Simultaneous Detection of Lateral and Vertical Forces

著者 (5件)： Chui Benjamin W. (Stanford University) ,  Kenny Thomas W. (Stanford University) ,  Mamin H. Jonathon (IBM Research Division) ,  Terris Bruce D. (IBM Research Division) ,  Rugar Daniel (IBM Research Division)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： IMECE97  ページ： 55-59  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,横方向および垂直力の同時検出のための独立ピエゾ抵抗センサを有する新しい2軸AFMカンチレバーについて述べた。カンチレバーは,垂直たわみセンサを形成するためにピエゾ抵抗層を埋め込んだコンプライアンスの垂直方向を有する平坦で三角形のプローブから成る。このプローブは,構造横方向コンプライアンスを与える高,狭い”リブ”によってベースに接続される。リブの一部の側壁に包埋したのは,横方向たわみセンサを形成するピエゾ抵抗器の2番目のセットである。垂直に対する約45度の特別なイオンインプラントを用いて,ピエゾ抵抗センサと電気接続を作製した。垂直および横方向のたわみセンサーは,測定したピエゾ抵抗感度ΔR/Rを,Å当たり5×10-7のオーダーで示す。カンチレバーを用いて,既知の試料のAFM画像を得て,試料トポグラフィーのz信号とx信号画像を得た。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： イオン ,  感度 ,  プローブ ,  たわみ ,  構造 ,  *片持梁 ,  コンプライアンス ,  二軸 ,  センサ ,  側壁
準シソーラス用語： *圧電抵抗 ,  *垂直力 ,  *同時検出 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 横方向 ,  垂直力 ,  同時検出 ,  ピエゾ抵抗センサ ,  AFM ,  カンチレバー