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J-GLOBAL ID：202202257754277358   整理番号：22A0433626

急速熱化学蒸着プロセスにおける白金シリサイド触媒促進剤を用いた短いカーボンナノチューブの増強された迷光抑制【JST・京大機械翻訳】

Enhanced straylight suppression of short carbon nanotubes by using Platinum silicide catalyst enhancer in rapid thermal chemical vapor deposition process

著者 (4件)： Iftekhar Jaim H.M. (Lambda Consulting LLC/Advanced NanoPhotonics, 4437 Windsor Farm Rd Harwood, MD 20776, USA) ,  Iftekhar Jaim H.M. (Optics Branch, NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD 20771, USA) ,  Hagopian John G. (Lambda Consulting LLC/Advanced NanoPhotonics, 4437 Windsor Farm Rd Harwood, MD 20776, USA) ,  Hagopian John G. (Optics Branch, NASA Goddard Space Flight Center, Greenbelt, MD 20771, USA)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 579  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,光学用途のための急速熱化学蒸着(RTCVD)プロセスにおける垂直整列CNT(VACNT)の成長のためのインコネル触媒とシリコンの間の触媒促進剤としての白金の役割に焦点を当てた。インコネル/Pt/Si上に成長したVACNTは,光学デバイスにおけるシャドウイング効果を著しく低減できる6um高さの短いCNT成長を有する広い波長にわたって非常に低い半球反射率を示し,重要な現象は接着層または非常に高いCNTからしばしば損なわれる。NASA飛行認定振動と衝撃試験は環境試験中にCNT安定性を示した。そのような増強の起源は,種々の構造的および表面キャラクタリゼーション技術とRTCVDの利用によって明らかなように,触媒層下のナノ構造Pt-Si合金の形成によるものである。CNT成長の系統的研究を,RTCVD中の触媒厚さ,ガス流速,温度および圧力を変えて行った。最適化後,250nmで0.8%以下のCNTの半球反射率と1250から2500nmで0.2%を達成した。垂直多層CNT成長の存在をXPS,SEMおよびRaman分光法により確認した。CNT高さと均一性に関するミクロンスケール制御を達成し,レーザイメージングによって確認した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 最適化 ,  接着 ,  反射率 ,  ケイ素 ,  *白金 ,  画像処理 ,  流速 ,  *ケイ化物 ,  インコネル ,  *迷光 ,  Raman分光法 ,  ナノ構造 ,  *カーボンナノチューブ ,  *熱CVD
準シソーラス用語： 垂直配向 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 白金シリサイド ,  半球反射率 ,  接着 ,  インコネル触媒 ,  カーボンナノチューブ ,  NASA機器

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (9件)： 熱化学蒸着 ,  プロセス ,  白金 ,  シリサイド ,  触媒 ,  促進剤 ,  カーボンナノチューブ ,  増強 ,  迷光