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J-GLOBAL ID：202202257903910559   整理番号：22A1113490

電子注入を伴う高出力インパルスマグネトロン放電のパラメータとイオン質量-電荷組成【JST・京大機械翻訳】

Parameters and ion mass-to-charge composition of a high-power impulse magnetron discharge with electron injection

著者 (4件)： Shandrikov M.V. (Institute of High Current Electronics, Russian Academy of Sciences, 2/3 Akademichesky Ave., Tomsk, 634055, Russia) ,  Cherkasov A.A. (Institute of High Current Electronics, Russian Academy of Sciences, 2/3 Akademichesky Ave., Tomsk, 634055, Russia) ,  Oks E.M. (Institute of High Current Electronics, Russian Academy of Sciences, 2/3 Akademichesky Ave., Tomsk, 634055, Russia) ,  Oks E.M. (Tomsk State University of Control Systems and Radioelectronics, 40 Lenin Ave., Tomsk, 634050, Russia)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 200  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 放電プラズマのイオン質量対電荷組成を含む高出力インパルスマグネトロンスパッタリング放電の燃焼条件とパラメータに対する電子注入の影響を調べた。安定した放電燃焼電圧で,電子注入は,放電電流の顕著な増加をもたらし,低圧領域での放電動作を維持するが,プラズマ中の金属イオンのより低い割合をもたらすことを見出した。反射電極を用いて,強いイオン化領域に注入された電子フラックスを直接輸送する条件を作成し,1つは自己スパッタリングモードに対応するプラズマ中の金属イオンの割合を保存でき,また,限界動作圧力を減少させた。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： イオン化 ,  プラズマ ,  電圧 ,  *電荷 ,  *放電 ,  低圧 ,  *キャリア注入 ,  金属イオン
準シソーラス用語： *電子注入 ,  高出力 ,  放電プラズマ ,  放電電流 ,  電子フラックス ,  力積 ,  *マグネトロン放電 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (9件)： 電子注入 ,  高出力 ,  インパルス ,  マグネトロン放電 ,  パラメータ ,  イオン ,  質量 ,  電荷 ,  組成