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J-GLOBAL ID：202202258203310843   整理番号：22A0190811

走査電子顕微鏡FlexSEM1000の特徴三次元形状計測~先進のSEMをよりコンパクトに~

著者 (2件)： 小室浩之 (日立ハイテクノロジーズ) ,  坂上万里 (日立ハイテクノロジーズ)
資料名： Hitachi Scientific Instrument News (Web)  (Hitachi Scientific Instrument News (Web))
巻： 60  号： 1  ページ： 5265-5270 (WEB ONLY)  発行年： 2017年03月27日 
JST資料番号： U2654A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・走査電子顕微鏡(SEM)は高い倍率と深い焦点深度が特徴で,多様な試料の微細表面性状・形状を画像観測に加えて,X線分析と組み合わせた表面組成分析が可能。
・製品化した観察装置では,GUIを導入したシステムにより視野探索,自動焦点調整,画像復元を含む操作性が向上。

シソーラス用語： *形状測定 ,  計測器 ,  *走査電子顕微鏡 ,  GUI【計算機】 ,  画像復元 ,  焦点合せ ,  電子プローブX線分析
準シソーラス用語： *SEM【顕微鏡】 ,  *三次元形状計測 ,  三次元形状計測装置 ,  自動焦点 ,  製品紹介

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： 走査電子顕微鏡 ,  三次元形状計測 ,  SEM