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J-GLOBAL ID：202202258743286162   整理番号：22A0497365

プロパノンガスを検出するための吸着Auナノ粒子を有するカーボンナノチューブ【JST・京大機械翻訳】

Carbon nanotubes with adsorbed Au nanoparticles for sensing propanone gas

著者 (4件)： Lam Artde Donald Kin-Tak (Fujian University of Technology, Fuzhou, China) ,  Lin Zheng-Dong (Department of Electronic Engineering, National Formosa University, Huwei, Yunlin, Taiwan) ,  Lu Hao-Ying (Department of Electronic Engineering, National Quemoy University, Jinning, Kinmen, Taiwan) ,  Young Sheng-Joue (Department of Electronic Engineering, National Formosa University, Huwei, Yunlin, Taiwan)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 28  号： 1  ページ： 209-212  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,熱化学蒸着(CVD)により酸化Si基板上に高密度カーボンナノチューブ(CNT)を成長させた。C_2H_2雰囲気中で700°Cで熱CVDによりCNTを合成し,プロパノンガスセンサの作製に用いた。CNTsの平均長さと直径は,それぞれ,ε>4.52とλ>45nmであった。Auナノ粒子はナノチューブ表面に被覆され,厚さは5nmであり,生成したCNTsはプロパノン蒸気を感知するのに利用できる。カーボンナノチューブプロパノンガスセンサの感度は,室温で800ppmのプロパノン蒸気の濃度の下で2.98%であった。Copyright Springer-Verlag GmbH Germany, part of Springer Nature 2019 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *吸着 ,  酸化ケイ素 ,  ガスセンサ ,  *ナノチューブ ,  *カーボンナノチューブ ,  熱CVD
準シソーラス用語： 高密度 ,  *金ナノ粒子 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 吸着 ,  Auナノ粒子 ,  カーボンナノチューブ