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J-GLOBAL ID：202202258993982393   整理番号：22A0560206

プラズマで処理した単層カーボンナノチューブのウエハスケール膜のテラヘルツ赤外分光【JST・京大機械翻訳】

Terahertz-infrared spectroscopy of wafer-scale films of single-walled carbon nanotubes treated by plasma

著者 (8件)： Zhukov S.S. (Laboratory of Terahertz Spectroscopy, Center for Photonics and 2D Materials, Moscow Institute of Physics and Technology (National Research University), Dolgoprudny, Russia) ,  Zhukova E.S. (Laboratory of Terahertz Spectroscopy, Center for Photonics and 2D Materials, Moscow Institute of Physics and Technology (National Research University), Dolgoprudny, Russia) ,  Melentev A.V. (Laboratory of Terahertz Spectroscopy, Center for Photonics and 2D Materials, Moscow Institute of Physics and Technology (National Research University), Dolgoprudny, Russia) ,  Gorshunov B.P. (Laboratory of Terahertz Spectroscopy, Center for Photonics and 2D Materials, Moscow Institute of Physics and Technology (National Research University), Dolgoprudny, Russia) ,  Tsapenko A.P. (Skolkovo Institute of Science and Technology, Nobel str. 3, Moscow, 143026, Russia) ,  Kopylova D.S. (Skolkovo Institute of Science and Technology, Nobel str. 3, Moscow, 143026, Russia) ,  Nasibulin Albert G. (Skolkovo Institute of Science and Technology, Nobel str. 3, Moscow, 143026, Russia) ,  Nasibulin Albert G. (Aalto University, Department of Chemical Engineering, 00076, Aalto, Finland)
資料名： Carbon  (Carbon)
巻： 189  ページ： 413-421  発行年： 2022年 
JST資料番号： H0270B  ISSN： 0008-6223  CODEN： CRBNA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ処理単層カーボンナノチューブ(SWCNT)と種々の長さで成長させたSWCNTsから成る膜から成るウエハスケール膜のテラヘルツ-赤外電気力学特性を調べた。膜の複素コンダクタンスのスペクトルを,周波数5~20000cm-1および温度範囲5~300Kで測定した。元のSWCNTの膜のテラヘルツスペクトル応答は,Drude伝導率モデルと≒100cm-1に位置するプラズモン共鳴でよく記述される。酸素プラズマによる膜の段階的処理は,低周波数側からDrudeスペクトル重量を徐々に抑制した。1μmより短いナノチューブを持つ膜では,電子平均自由行程と局在化長に近い,ナノチューブエッジでの電荷キャリアの散乱は,キャリア散乱速度とプラズモン共鳴の減衰にさらに寄与することを示した。両方の種類の膜におけるac抵抗の温度係数(acTCR)は,冷却と周波数減少の間の振幅において強く増加することがわかった。acTCRの値は,プラズマ処理とより短い長さを有するナノチューブの長い時間を有する膜で増加したが,約100秒以上の曝露時間の膜では飽和に達し,1μmより短いSWCNTからなった。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *プラズマ ,  *赤外線 ,  薄膜 ,  プラズマ共鳴 ,  スペクトル ,  *赤外分光法 ,  プラズマ処理 ,  キャリア散乱 ,  *ナノチューブ ,  コンダクタンス ,  *カーボンナノチューブ ,  *単層カーボンナノチューブ ,  温度係数 ,  *テラヘルツ波
準シソーラス用語： 電荷キャリア , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： カーボンナノチューブ ,  薄膜 ,  プラズマ処理 ,  テラヘルツ分光法 ,  抵抗の温度係数

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマ ,  単層カーボンナノチューブ ,  ウエハ ,  スケール ,  テラヘルツ ,  赤外分光