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J-GLOBAL ID：202202259060136473   整理番号：22A0433471

格子歪またはカクテル効果はタンタル系高エントロピー窒化物被覆の性能を支配する【JST・京大機械翻訳】

Lattice distortion or cocktail effect dominates the performance of Tantalum-based high-entropy nitride coatings

著者 (8件)： Chang Ching-Chun (Department of Materials Science and Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan) ,  Hsiao Yu-Ting (Department of Materials Science and Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan) ,  Chen Yu-Lin (Department of Materials Science and Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan) ,  Tsai Cheng-Yuan (Department of Materials Science and Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan) ,  Lee Ya-Jing (Department of Materials Science and Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan) ,  Ko Ping-Hsu (Department of Materials Science and Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan) ,  Chang Shou-Yi (Department of Materials Science and Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan) ,  Chang Shou-Yi (High Entropy Materials Center, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 577  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多成分保護硬質皮膜の適切な元素選択および楽観的設計に対する格子歪およびカクテル効果の支配を理解するために,本研究では,(AlCrTa_2TiZr)N_x,(HfNbTaTiZr)N_x,(MoNbTaTiZr)N_xおよび(Al_2Cr_2HfMoNbTa)N_xを含む4グループのTa基高エントロピー窒化物被覆を,N_2+Ar混合雰囲気中でスパッタリングにより堆積した。コーティングの構造,機械的性質,耐摩耗性および耐酸化性を調べ,それらの性能における異なる構成金属元素の役割を調べた。実験結果は,従来の窒化物被覆と同様に,金属元素のスパッタリング収率と再スパッタリング損失が化学組成を決定することを示した。多重金属元素の高混合エントロピーは固溶体構造をもたらしたが,N_2対全流量比は膜構造と成長方向を支配した。あるレベルの格子歪は,金属元素を添加したものではなく,同様に高い機械的特性を生成し,しかし,構成成分のカクテル効果は被覆のトライボロジーおよび耐酸化性を決定した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エントロピー ,  化学組成 ,  *格子歪 ,  固溶体 ,  耐摩耗性 ,  *タンタル ,  *被覆 ,  耐酸化性 ,  *窒化物 ,  重金属 ,  トライボロジー ,  膜構造 ,  金属元素
準シソーラス用語： 流量比 ,  硬質皮膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 保護コーティング ,  高エントロピー窒化物 ,  機械的性質 ,  耐摩耗性 ,  耐酸化性

分類 (3件)： 防食  (WB03040M) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 格子歪 ,  カクテル ,  タンタル ,  エントロピー ,  窒化物