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J-GLOBAL ID:202202259229363998   整理番号:22A0788313

非縮退Memsジャイロスコープにおける品質因子のためのコンパクトな安定化スキーム【JST・京大機械翻訳】

A Compact Stabilization Scheme For Quality Factor in Nondegenerate Mems Gyroscope
著者 (4件):
資料名:
巻: 2022  号: MEMS  ページ: 146-149  発行年: 2022年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,非縮退MEMSジャイロスコープにおける抵抗負荷効果を利用したコンパクトなQ因子安定化スキームを報告した。ジャイロスコープセンス動的における空気減衰に対する熱弾性散逸(TED)の比を,1/Tに比例するQ因子を形成するために注意深く設計し,負の温度係数(TCO)を有するHRI抵抗器を読取ICに統合して,センシングQ因子を弱め,適切な分極電圧でその熱変動を補償した。電圧フィードバックループまたは専用電極に対する温度は,提案した方式において必要でない。Q因子熱変化は,-40°Cから+60°Cの温度範囲で56.4%から0.1%に減少した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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図形・画像処理一般 
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