抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
・高精度微細金型の分野では,より高い形状精度が求められており,それに対応する微細加工機に求められるのが,高水準の機械要素で,具体的には,高性能主軸,優れた送り機構,高剛性構造と熱変位対策。
・さらに,加工,洗浄,測定,形状精度追い込み補正からなる4要素を統合したシステムを加えて,高精度加工を実現。
・本稿は碌々産業(株)を代表する超高精度高速微細加工機「AndroidII」による微細加工と,新たに開発した形状精度を向上させる「COSMOS」の取り組みを紹介。
・実加工精度1μm以下を達成するための機械要素と,高精度微細加工を実現する機能を有しているのがAndroidII。