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J-GLOBAL ID：202202260176311776   整理番号：22A0450379

反発作動によるTビーム共振器の動的挙動【JST・京大機械翻訳】

Dynamic behavior of T-beam resonator with repulsive actuation

著者 (3件)： Tian Yu (State University of New York at Binghamton, Binghamton, NY, USA) ,  Daeichin Meysam (State University of New York at Binghamton, Binghamton, NY, USA) ,  Towfighian Shahrzad (State University of New York at Binghamton, Binghamton, NY, USA)
資料名： Nonlinear Dynamics  (Nonlinear Dynamics)
巻： 107  号： 1  ページ： 15-31  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2017A  ISSN： 0924-090X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反発力によって駆動される静電MEMS変換器は魅力的な可能性であり,プルイン不安定性を避ける利点があり,固有振動数を調整し,十分に高い電圧を適用することにより高感度を達成する。本研究では,先端で一次カンチレバーに垂直な二次ビームを付着して形成される「T」形ビームを導入し,その非線形動力学を解析した。電気機械的結合効果から形成されるモード形状から,縮小次数モデルを導いた。強制Mathieu運動方程式の一般化形式を導出し,次に,動的挙動を多重スケールの理論を通して調査した。一次および主パラメトリック共鳴を含む共鳴応答は,支配方程式における二次および三次非線形性から生じる軟化挙動を明らかにした。Tビームの挙動を従来のカンチレバー構造と比較した。反発力の下の共振は,Tビームが従来のカンチレバーよりいくつかの利点を有することを実証した:より低い固有振動数であるが,より高い共振応答は信号対雑音比を改良できる。付着したマイクロパッドで,Tビームは,質量センシングのための標的検体の吸収のためのより大きな表面を有した。「T」形ビームを有する静電MEMS共振器は,センサとアクチュエータの新しい世代に潜在的に適していると結論した。Copyright The Author(s), under exclusive licence to Springer Nature B.V. 2021 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： SN比 ,  運動方程式 ,  *共振 ,  *共振器 ,  共鳴 ,  固有振動数 ,  電圧 ,  片持梁 ,  電気機械 ,  斥力 ,  非線形力学 ,  MEMS
準シソーラス用語： 支配方程式 ,  マルチスケール ,  MEMS共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MEMS共振器 ,  反発力作動 ,  非線形幾何学 ,  一次共鳴 ,  主パラメトリック共鳴

分類 (2件)： 梁,桁  (HD03020H) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 反発 ,  ビーム ,  共振器 ,  動的挙動