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J-GLOBAL ID：202202260187062711   整理番号：22A0909045

超伝導量子回路用の窒素プラズマ不動態化ニオブ共振器【JST・京大機械翻訳】

Nitrogen plasma passivated niobium resonators for superconducting quantum circuits

著者 (9件)： Zheng K. (Department of Physics, Washington University, St. Louis, Missouri 63130, USA) ,  Kowsari D. (Department of Physics, Washington University, St. Louis, Missouri 63130, USA) ,  Thobaben N. J. (Department of Physics, Saint Louis University, St. Louis, Missouri 63103, USA) ,  Du X. (Department of Physics, Washington University, St. Louis, Missouri 63130, USA) ,  Song X. (Department of Physics, Washington University, St. Louis, Missouri 63130, USA) ,  Ran S. (Department of Physics, Washington University, St. Louis, Missouri 63130, USA) ,  Henriksen E. A. (Department of Physics, Washington University, St. Louis, Missouri 63130, USA) ,  Wisbey D. S. (Department of Physics, Saint Louis University, St. Louis, Missouri 63103, USA) ,  Murch K. W. (Department of Physics, Washington University, St. Louis, Missouri 63130, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 120  号： 10  ページ： 102601-102601-7  発行年： 2022年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超伝導量子回路に使用されるニオブ金属構造中のマイクロ波損失は,周囲環境に暴露された時,数分の時間スケールで形成された自然表面酸化物層によって制限される。本研究では,窒素プラズマ処理が金属-空気界面で窒化ニオブ層を形成し,このような酸化を防ぐことを示した。X線光電子分光法は,表面に5nm以上の窒素のドーピングと抑制された酸素存在を確認した。この不動態化は,環境中で15日間熟成後も安定であった。極低温マイクロ波キャラクタリゼーションは,3μm中心ストリップと20μm中心ストリップで(1.0±0.3)10-7の共振器に対して,(2.9±0.5)・10-7の平均充填因子調整2レベルシステム損失正接Fδ_TLSを示し,4倍で非不動態化試料の性能を超えた。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 界面 ,  *共振器 ,  *超伝導 ,  マイクロ波 ,  損失 ,  酸素 ,  *窒素 ,  *ニオブ ,  *不動態化 ,  金属構造 ,  帯板 ,  ドーピング ,  極低温 ,  X線光電子分光法 ,  損失正接

分類 (2件)： Josephson接合・素子  (BM04043E) ,  その他の超伝導応用装置  (BM04044V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 伝導 ,  量子回路 ,  窒素プラズマ ,  不動態化 ,  ニオブ ,  共振器