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J-GLOBAL ID:202202260408769566   整理番号:22A0956737

研磨特性を有する電磁二相複合粒子のレオロジーおよび研磨特性の研究【JST・京大機械翻訳】

Study on the rheological and polishing properties of electromagnetic two-phase composite particles with abrasive characteristics
著者 (6件):
資料名:
巻: 31  号:ページ: 045012 (11pp)  発行年: 2022年 
JST資料番号: W0480A  ISSN: 0964-1726  CODEN: SMSTER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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電磁複合レオロジー研磨(EMRP)は,電気粘性研磨(ERP)と磁気粘性研磨(MRP)を組み合わせた新しい超精密加工技術である。研磨法の重要な技術は,ERPとMRPの両方を有する電磁複合レオロジー流体(EMRF)の調製,特に電気および磁気レオロジー効果による複合粒子の調製である。本研究では,EMRFをアブレシブ特性を有する電磁二相粒子を用いて作成した。電磁二相複合粒子を2段階で合成した:カップリング法とゾル-ゲル法。二段階法は,表面にランダムに埋め込まれたナノダイヤモンド粒子を有する電磁二相複合粒子を成功裏に調製した。試験パラメータ電圧が2.5kVのとき,EMRFの電気粘性せん断応力は160.7Paに達し,電磁石励起電流が3Aのとき,EMRFの磁気粘性せん断応力は4076Paに達することができた。溶融シリカガラスを単一磁場下で研磨すると,材料除去深さは13.5mmの半径で2.7μmの最大値に達する。電磁化合物場の作用の下で,工作物の除去プロファイルはより滑らかであり,材料除去深さは10.5mmの半径で2.1μmの最大値に達する。これは,電磁複合場の下の研磨パッドの剛性分布が単一場の下のものより分散していることを証明した。したがって,電磁2相複合粒子の分布を電磁複合場を適用することによって制御することができ,それはEMRPの研磨制御技術のための良い基礎を提供する。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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研削  ,  磁性流体 
タイトルに関連する用語 (4件):
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