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J-GLOBAL ID:202202260564250688   整理番号:22A1033165

カーボンナノチューブのナノ秒レーザアブレーションの実験研究【JST・京大機械翻訳】

Experimental Investigation of Nanosecond Laser Ablation of Carbon Nanotubes
著者 (6件):
資料名:
号: IMECE2021  ページ: Null  発行年: 2022年 
JST資料番号: A0478C  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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カーボンナノチューブ(CNT)は,高い電気伝導率,高い熱伝導率,高い機械的及び弾性特性,及び相対的安価などの優れた物理的及び化学的特性のために,過去20年間の開発及び調査の主題であった。本論文では,実験室でCNTsを成長させ,次に,レーザアブレーションプロセスを用いて,その製造可能性と関連特性変化を調べた。CNTを化学蒸着(CVD)プロセスを用いて成長させた。成長に用いた触媒はシリコン基板上の鉄であった。基板試料の平均サイズは5mmであった。単一パルスモードの1064nm波長を有する連続SureliteクラスIIIレーザを用いて,レーザ-物質相互作用から生じるCNTsの特性の変化を評価するために,CNTsをアブレーションした。レーザビームエネルギーとビーム直径を変えて,CNTsにおける特性変化に及ぼすそれらの影響を調べた。レーザビームエネルギーは0.063Jから0.35Jの範囲であり,ビーム直径は光学レンズを用いて調整され,焦点距離が150mmであった。12の試料を試験し,走査Electron顕微鏡(SEM)とRaman分光を用いてレーザアブレーション前後の試料をキャラクタライズした。アブレーション前に各試料のRamanスペクトルを4から6回測定した。SWCNTとMWCNTの両方の密度をスペクトルで実証した。0.153Jを,レンズの焦点距離に等しい試料およびレンズ間の距離で用いると,SEMイメージングおよびRamanスペクトルは,レーザビームに起因する明るい燃焼周囲を示した。200μmの距離のCNTは,レーザビームからの熱伝搬のために同様に破壊されることがわかった。レーザの応用は,シリコン基板を損傷することなくCNTネットワークから電気伝導率を低減でき,電子工業におけるCNTの応用を拡大できる。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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炭素とその化合物 
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