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J-GLOBAL ID：202202260625155782   整理番号：22A0396679

極性AlNテンプレートにより同調した高速応答非晶質Ga_2O_3ソーラーブラインド紫外光検出器【JST・京大機械翻訳】

Fast-Response Amorphous Ga2O3 Solar-Blind Ultraviolet Photodetectors Tuned by a Polar AlN Template

著者 (8件)： Liu Ningtao (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, China) ,  Zhang Tan (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, China) ,  Chen Li (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, China) ,  Zhang Jinfu (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, China) ,  Hu Shudong (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, China) ,  Guo Wei (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, China) ,  Zhang Wenrui (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, China) ,  Ye Jichun (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, China)
資料名： IEEE Electron Device Letters  (IEEE Electron Device Letters)
巻： 43  号： 1  ページ： 68-71  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0344B  ISSN： 0741-3106  CODEN： EDLEDZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガリウム酸化物(Ga_2O_3)は,その適切なバンドギャップと有利な電子特性のため,先進のオプトエレクトロニクス用途のための新たな半導体である。非晶質Ga_2O_3は低コストおよび大規模デバイス応用に対して非常に望まれるが,実際の紫外光検出に対する高い暗電流および遅い応答速度に悩まされている。ここでは,極性窒化アルミニウム(AlN)テンプレートを非晶質Ga_2O_3と統合し,高速応答金属半導体金属(MSM)光検出器を作製した。キャリア輸送とデバイス性能はAlNテンプレートの偏光方向に強く依存することを明らかにした。Al極性AlN層からの下方分極により,Ga_2O_3光検出器は,0.015nAの低い暗電流,104の高い光対暗電流比,31msの速い応答速度,および22msの回復時間で,最適化された性能を達成した。本研究は,高性能太陽ブラインド光検出器を製作するための外部自然分極によるキャリア輸送の実効ルートを示した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 最適化 ,  *紫外線 ,  半導体 ,  *光検出器 ,  分極 ,  偏光 ,  *アルミニウム ,  *非晶質 ,  暗電流 ,  オプトエレクトロニクス ,  *窒化アルミニウム ,  自発分極 ,  バンドギャップ
準シソーラス用語： キャリア輸送 ,  *高速応答 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 測光と光検出器一般  (BD07031F)

タイトルに関連する用語 (9件)： 極性 ,  AlN ,  テンプレート ,  同調 ,  高速応答 ,  非晶質 ,  ブラインド ,  紫外光 ,  検出器