文献

J-GLOBAL ID：202202260765158489   整理番号：22A0973146

液晶ディスプレイ用のゾル-ゲルZnO薄膜の溶液駆動インプリントリソグラフィー【JST・京大機械翻訳】

Solution-Driven Imprinting Lithography of Sol-Gel ZnO Thin Films for Liquid Crystal Display

著者 (12件)： Jeong Hae-Chang (Department of Smart Manufacturing Engineering, Changwon National University, Gyeongnam, Korea) ,  Jeong Hae-Chang (Department of Electrical Electronic and Control Engineering, Changwon National University, Gyeongnam, Korea) ,  Kim Dong Hyun (Information Display Device Laboratory, Department of Electrical and Electronic Engineering, Yonsei University, Republic of Korea) ,  Lee Dong Wook (Information Display Device Laboratory, Department of Electrical and Electronic Engineering, Yonsei University, Republic of Korea) ,  Oh Jin Young (Information Display Device Laboratory, Department of Electrical and Electronic Engineering, Yonsei University, Republic of Korea) ,  Lee Ju Hwan (Information Display Device Laboratory, Department of Electrical and Electronic Engineering, Yonsei University, Republic of Korea) ,  Won Jonghoon (Information Display Device Laboratory, Department of Electrical and Electronic Engineering, Yonsei University, Republic of Korea) ,  Jang Jong In (Department of Smart Manufacturing Engineering, Changwon National University, Gyeongnam, Korea) ,  Jang Jong In (Department of Electrical Electronic and Control Engineering, Changwon National University, Gyeongnam, Korea) ,  Eom Sung Jin (Department of Smart Manufacturing Engineering, Changwon National University, Gyeongnam, Korea) ,  Eom Sung Jin (Department of Electrical Electronic and Control Engineering, Changwon National University, Gyeongnam, Korea) ,  Seo Dae-Shik (Information Display Device Laboratory, Department of Electrical and Electronic Engineering, Yonsei University, Republic of Korea)
資料名： Langmuir  (Langmuir)
巻： 38  号： 8  ページ： 2561-2568  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0231B  ISSN： 0743-7463  CODEN： LANGD5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： インプリントリソグラフィーによりナノパターン化ZnO膜を作製する簡単で経済的に便利な方法を提示し,液晶(LC)ディスプレイの層整列にそれらを使用した。最初に,1次元ナノパターンをシリコンウエハ上のレーザ干渉リソグラフィーにより得,シリコンモールドレプリカをコンフォーマルパターニングのために柔軟なポリジメチルシロキサン(PDMS)シート上に移した。次に,得られたPDMSモールドをガラス基板上にスピンコートしたZnO膜に適用した。インプリントプロセスの間に,温度は100から250°Cに制御され,ZnO膜の移動形態を観察した。ナノパターンは,ゾル状態のZnO膜がPDMSナノパターンの空洞を満たし,凝固し,ナノパターンの負のレプリカを形成するので,200と250°Cのアニーリング温度で首尾よく転写された。ナノパターン化ZnO膜の方向は,センチメートルスケールでLC表面にLC分子を整列させるためのガイドとして役立ち,それらの弾性特性とグループ挙動のため,LCバルク中のそれらの方向性状態を伝搬する。得られたLCセルは,180°C以上で増強された電気光学性能と高い熱耐久性を示した。整列層の形状はZnO膜の電場を増加させ,閾値電圧低下を示した。さらに,フレキシブルデバイスは一般にポリイミドに基づくので,約200°Cでイミド化され,作製したナノパターン化ZnO膜の比較的低いアニーリング温度は,基礎となる熱可塑性基板の劣化なしに,そのようなデバイスに搭載できる。したがって,ナノパターン化ZnOは,先進LCディスプレイに対してかなりの可能性を有する。Copyright 2022 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アラインメント ,  *液晶 ,  電場 ,  ケイ素 ,  ポリイミド ,  *酸化亜鉛 ,  ウエハ【IC】 ,  一次元 ,  *ゾル-ゲル法 ,  パターン形成 ,  スピンコーティング
準シソーラス用語： *インプリントリソグラフィー ,  シリコンウエハ ,  液晶セル ,  ナノパターン ,  フレキシブルデバイス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 高分子固体のその他の性質  (CG02025L) ,  固-液界面  (CB12050B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 液晶ディスプレイ ,  ゾル-ゲル ,  ZnO薄膜 ,  溶液 ,  インプリントリソグラフィー