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J-GLOBAL ID：202202260860030748   整理番号：22A0948510

フッ化水素酸中のガラスの化学エッチング:簡単なレビュー【JST・京大機械翻訳】

Chemical etching of glasses in hydrofluoric Acid: A brief review

著者 (6件)： Shubhava (Department of Physics, Alva’s Institute of Engineering and Technology, Moodbidri 574225, India) ,  Jayarama A. (Department of Physics, Alva’s Institute of Engineering and Technology, Moodbidri 574225, India) ,  Kannarpady Ganesh K. (Center for Integrative Nanotechnology Sciences, University of Arkansas Little Rock, 2801 South University Avenue, Little Rock, AR 72204, USA) ,  Kale Sangeeta (Department of Applied Physics, Defence Institute of Advanced Technology (DIAT), Girinagar, Pune 411025, India) ,  Prabhu Shriganesh (Department of Condensed Matter Physics and Materials Science, Tata Institute of Fundamental Research, HomiBhabha Road, Mumbai 400005, India) ,  Pinto Richard (Department of Electronics and Communication Engineering, Alva’s Institute of Engineering and Technology, Moodbidri 574225, India)
資料名： Materials Today: Proceedings  (Materials Today: Proceedings)
巻： 55  号： P1  ページ： 46-51  発行年： 2022年 
JST資料番号： W3531A  ISSN： 2214-7853  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸性,苛性,または研磨剤を用いて,ガラス表面からの材料,選択的あるいは非選択的除去を,ガラスエッチングと呼ぶ。湿式およびドライエッチングは,燃料電池電極におけるフローチャネル設計を含む多様な応用に対して広く使用されている。精密マイクロレベルエッチングは難しいので,エッチングパラメータの最適化が重要である。本論文は,種々の用途のためのマイクロチャネルと微細構造の形成のための石英を含むガラスの湿式エッチングをレビューした。エッチングしたガラスのエッチングパラメータと表面微細構造を含む異なるエッチング機構についてもレビューした。HF濃度とエッチング時間がガラス材料の表面微細構造に主要な役割を果たすことが分かった。エッチングした表面の品質を改善するために,NH_4F溶液で緩衝したHFの使用についても述べた。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エッチング ,  *ガラス ,  最適化 ,  微細構造 ,  石英 ,  研磨剤 ,  酸性 ,  パラメータ ,  ドライエッチング ,  *ウェットエッチング ,  マイクロチャネル
準シソーラス用語： *フッ化水素酸 ,  表面微細構造 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ウェットエッチング ,  化学エッチング ,  フッ化水素酸 ,  緩衝HF ,  微細構造 ,  マイクロチャネル

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： フッ化水素酸 ,  ガラス ,  化学エッチング ,  レビュー