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J-GLOBAL ID：202202261263481391   整理番号：22A0848407

近半球線形視野を有するマイクロエレクトロニクス角度変位センサ【JST・京大機械翻訳】

Microelectronic Angular Displacement Sensor With Near Hemispherical Linear Field-of-View

著者 (6件)： Wijesinghe Udumbara (Department of Materials Science and Engineering, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA) ,  Dey Akash (Department of Electrical and Computer Engineering, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA) ,  Krenik William (Texas Instruments, Inc., Dallas, TX, USA) ,  Edwards Hal (Texas Instruments, Inc., Dallas, TX, USA) ,  Marshall Andrew (Department of Electrical and Computer Engineering, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA) ,  Lee Mark (Department of Physics, The University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 22  号： 5  ページ： 4051-4056  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 物体の変位を追跡することができる小型で低コストの固体センサは,ロボットツールのガイダンスから太陽追跡までの多くの潜在的用途を有する。高度に線形の角度応答をもつほぼ半球の視野(FoV)を横切る光の点源によって標識された物体の角度変位を追跡することができる,簡単でコンパクトな(約1mm×1mm)マイクロエレクトロニクスセンサについて述べた。これらのセンサを工業用シリコン集積回路プロセス技術を用いて作製した。それらは光吸収アノードの周辺に置かれた光電陰極への光電子拡散の不均衡として角変位を伝達する。センシング面積はピンホール開口を有するオンチップ統合金属箱内に封入される。ピンホール光学の使用は,光学レンズまたはミラーを不要にし,システムサイズ,重量およびコストを低減する。センサ信号は,緯度と縦方向のアークの両方で,160°FoVを横切る光タグの角度位置に線形に比例し,包装の考慮によって制限された。単一センサチップは,高い線形応答で,固体角の>1.7πステラジアンを横切る物体の角度変位を追跡することができる。センサとオンチップ増幅器をモノリシックに統合し,変調光タグにロックイン検出を用いることにより,信号雑音は500Hzまでの変調周波数により著しく改善されることが分かった。これらのセンサは小型で軽量で,非常に低い電力で動作し,シリコン信号処理回路と容易に統合でき,高容量で製造できる。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 雑音 ,  集積回路 ,  増幅器 ,  光吸収 ,  原価 ,  電力 ,  ロボット ,  ケイ素 ,  緯度 ,  光電陰極 ,  太陽追尾 ,  *マイクロエレクトロニクス ,  アノード
準シソーラス用語： オンチップ ,  センサチップ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 半球 ,  線形 ,  視野 ,  マイクロエレクトロニクス ,  角度変位