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J-GLOBAL ID：202202261823312397   整理番号：22A0438374

pHセンシングのためのGa_2O_3ナノロッド系拡張ゲート電界効果トランジスタ【JST・京大機械翻訳】

Ga₂O₃ nanorod-based extended-gate field-effect transistors for pH sensing

著者 (7件)： Chiang Jung-Lung (Department of Materials Science and Engineering, National Chung Hsing University, Taichung 40227, Taiwan) ,  Shang Yi-Guo (Department of Materials Science and Engineering, National Chung Hsing University, Taichung 40227, Taiwan) ,  Yadlapalli Bharath Kumar (Department of Materials Science and Engineering, National Chung Hsing University, Taichung 40227, Taiwan) ,  Yu Fei-Peng (Department of Materials Science and Engineering, National Chung Hsing University, Taichung 40227, Taiwan) ,  Wuu Dong-Sing (Department of Materials Science and Engineering, National Chung Hsing University, Taichung 40227, Taiwan) ,  Wuu Dong-Sing (Department of Applied Materials and Optoelectronic Engineering, National Chi Nan University, Nantou 54561, Taiwan) ,  Wuu Dong-Sing (Innovation and Development Center of Sustainable Agriculture, National Chung Hsing University, Taichung 40227, Taiwan)
資料名： Materials Science & Engineering. B. Advanced Functional Solid-State Materials  (Materials Science & Engineering. B. Advanced Functional Solid-State Materials)
巻： 276  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： T0553A  ISSN： 0921-5107  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,拡張ゲート電界効果トランジスタに基づく酸化ガリウム(Ga_2O_3)ナノロッドのpHセンシング特性を,化学浴析出によりITO/ガラス上に成長させた。Ga_2O_3ナノロッドを,走査電子顕微鏡,X線回折,エネルギー分散分光,透過型電子顕微鏡(TEM),Fourier変換赤外分光法(FTIR),およびRamanスペクトル装置を用いて観察した。実験結果は,α-Ga_2O_3ナノロッドが40-600°Cで1時間アニールした後,いくつかの結晶方位([104],[110],[024],[116])を有することを示した。FTIRとRamanスペクトル測定はGa-OとGa-OHの曲げモードの存在を確認した。TEMで観察したように,ナノロッドは良好な結晶品質と原子格子配列を有した。さらに,Ga_2O_3/ITOpHセンサは,高いpH感度(51.59~64.29mV/pH),良好な直線性(98.5%~99.8%)および長期安定性(ドリフト,2.75mV/h;pH=7)を有していた。全体として,α-Ga_2O_3は,pHまたはバイオセンサのための低コストFETベース製造センサとして使用できた。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： Ramanスペクトル ,  X線回折 ,  ガラス ,  焼なまし ,  走査電子顕微鏡 ,  *FET【トランジスタ】 ,  結晶方位 ,  ドリフト ,  酸化ガリウム ,  バイオセンサ ,  透過型電子顕微鏡 ,  FTIR分光法 ,  *ナノロッド
準シソーラス用語： 結晶品質 ,  pH感受性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Ga_2O_3ナノロッド ,  化学浴堆積 ,  pH感度 ,  拡張ゲート電界効果トランジスタ

分類 (3件)： 無機化合物のルミネセンス  (BM08093J) ,  光化学一般  (CB08010U) ,  酸化物の結晶成長  (BK13050I)

タイトルに関連する用語 (6件)： pH ,  センシング ,  ナノロッド ,  拡張 ,  ゲート ,  電界効果トランジスタ