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J-GLOBAL ID：202202261947409344   整理番号：22A0945108

CoFeB/MgO垂直磁気異方性膜の熱安定性に及ぼすTaおよびPt/Taシード層の影響【JST・京大機械翻訳】

Effects of Ta and Pt/Ta seed layer on the thermal stability of CoFeB/MgO perpendicular magnetic anisotropy film

著者 (8件)： Han Fengxuan (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Du Wei (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Liu Mengli (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Su Hua (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Zhang Huaiwu (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China) ,  Liu Bo (Key Laboratory of Spintronics Materials, Devices and Systems of Zhejiang Province, Hangzhou 311305, China) ,  Meng Hao (Key Laboratory of Spintronics Materials, Devices and Systems of Zhejiang Province, Hangzhou 311305, China) ,  Tang Xiaoli (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 906  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単一Taシード層と比較して,垂直磁気異方性(PMA)の熱安定性に及ぼすPt/Taシード層の影響を詳細に調べた。結果は,PMA特性が,300°C以上のアニーリング温度以上で,Pt/Ta/CoFeB/MgO試料で,まだ安定であることを示した。しかし,アニーリング温度が270°Cまで上昇すると,Ta単一シード層では劣化する。微細構造分析を通して,理由は,全体の構造におけるいろいろな要素拡散傾向に起因した。シード層Ptの結晶化がTaに対して効率的な拡散経路を与えることを見出した。それはCoFeB/MgO界面でのTa(約15%)の比率を減少させ,PMAとその温度安定性を改善するためにより多くのFe-O結合を確実にする。しかし,Ta単一シード層は非晶質であった。それは容易にCoFeBに拡散し,Fe/Co3dとO2p軌道間の混成を減少させる。これらの観察は,Pt/Taシード層がPMA効果の熱安定性を高める有望な手段を提供し,それらの逆スピンHallアンゲルに基づく無磁場スピン-軌道トルク(SOT)スイッチングの要求を満たすことを確認した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 界面 ,  結晶化 ,  磁場 ,  磁性薄膜 ,  *タンタル ,  *白金 ,  *酸化マグネシウム ,  非晶質 ,  多層膜 ,  *垂直磁気異方性 ,  *下層
準シソーラス用語： HRTEM ,  アニーリング温度 ,  *シード層 ,  拡散経路 ,  スピン-軌道トルク , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 磁性膜と多層膜 ,  スピン軌道トルク ,  垂直磁気異方性 ,  PMA ,  高分解能透過電子顕微鏡(HRTEM)

分類 (1件)： 磁気的性質  (WB02020J)

タイトルに関連する用語 (6件)： MgO ,  垂直磁気異方性 ,  熱安定性 ,  Ta ,  Pt ,  シード層