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J-GLOBAL ID：202202261968366342   整理番号：22A1161008

ルテニウム中の水素拡散のReaxFF分子動力学研究 粒界の役割【JST・京大機械翻訳】

A ReaxFF Molecular Dynamics Study of Hydrogen Diffusion in Ruthenium-The Role of Grain Boundaries

著者 (14件)： Onwudinanti Chidozie (Dutch Institute for Fundamental Energy Research, The Netherlands) ,  Onwudinanti Chidozie (Materials Simulation and Modelling, Department of Applied Physics, Eindhoven University of Technology) ,  Onwudinanti Chidozie (Center for Computational Energy Research, The Netherlands) ,  Pols Mike (Materials Simulation and Modelling, Department of Applied Physics, Eindhoven University of Technology) ,  Brocks Geert (Materials Simulation and Modelling, Department of Applied Physics, Eindhoven University of Technology) ,  Brocks Geert (Center for Computational Energy Research, The Netherlands) ,  Brocks Geert (Computational Materials Science, Faculty of Science and Technology, MESA+ Institute for Nanotechnology, University of Twente, The Netherlands) ,  Koelman Vianney (Center for Computational Energy Research, The Netherlands) ,  Koelman Vianney (Dutch Institute for Fundamental Energy Research, The Netherlands) ,  Koelman Vianney (Department of Applied Physics, Eindhoven University of Technology) ,  van Duin Adri C. T. (Department of Mechanical Engineering, The Pennsylvania State University, Pennsylvania, United States) ,  Morgan Thomas (Dutch Institute for Fundamental Energy Research, The Netherlands) ,  Tao Shuxia (Materials Simulation and Modelling, Department of Applied Physics, Eindhoven University of Technology) ,  Tao Shuxia (Center for Computational Energy Research, The Netherlands)
資料名： Journal of Physical Chemistry C  (Journal of Physical Chemistry C)
巻： 126  号： 13  ページ： 5950-5959  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1877A  ISSN： 1932-7447  CODEN： JPCCCK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ルテニウム(Ru)薄膜を,極端紫外線リソグラフィーマシンにおける多層鏡のための保護キャップとして使用した。これらのミラーを原子状水素(H)に曝すと,Ruを通して透過し,ミラー上に水素充填ブリスタが形成される。HはバルクRuに低い溶解度を示すが,RuによるH拡散の性質とブリスタリングのメカニズムへの寄与は未知のままである。本研究は,反応性分子動力学シミュレーションを利用して,Hの挙動に及ぼすRu膜における不完全性の影響を研究した。Ru/H系に対して,量子力学計算から得られた構造とエネルギーを再現するReaxFF力場をパラメータ化した。Ru中のHの全体的な拡散挙動に及ぼす傾斜とねじれ粒界の影響を調べるために,新たに開発した力場を用いて分子動力学シミュレーションを行った。著者らのシミュレーションは,傾斜とねじれ結晶粒界が水素原子のエネルギー的に好ましいサイトを提供し,Hのシンクとハイウェイとして作用することを示した。従って,それらは,それらの平面を横切るH輸送をブロックし,それらの平面に沿った拡散に有利であった。これは結晶粒界での水素の蓄積をもたらす。水素拡散に及ぼす結晶粒界の強い効果は,水素透過速度を抑制する手段としてルテニウム薄膜の形態を調整することを示唆した。Copyright 2022 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *拡散 ,  *結晶粒界 ,  薄膜 ,  溶解度 ,  計算機シミュレーション ,  *水素 ,  *ルテニウム ,  量子論 ,  ねじり変形 ,  水素透過 ,  力の場 ,  *分子動力学
準シソーラス用語： 分子動力学シミュレーション ,  *水素拡散 ,  水素原子 ,  *ReaxFF , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 計算機シミュレーション  (JE11000H) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (7件)： ルテニウム ,  水素拡散 ,  ReaxFF ,  分子動力学 ,  研究 ,  粒界 ,  役割