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J-GLOBAL ID：202202262419692885   整理番号：22A0178675

マルチアーク陰極真空磁気ろ過堆積による超硬および防食(AlCrMoSiTi)N_x高エントロピー窒化物被覆【JST・京大機械翻訳】

Super-hard and anti-corrosion (AlCrMoSiTi)N_x high entropy nitride coatings by multi-arc cathodic vacuum magnetic filtration deposition

著者 (10件)： Zhao Yiman (Center for Advanced Thin Films and Devices, School of Materials and Energy, Southwest University, Chongqing, 400715, China) ,  Chen Shunian (Key Laboratory of Beam Technology of Ministry of Education, College of Nuclear Science and Technology, Beijing Normal University, Beijing, 100875, China) ,  Chen Yujie (Center for Advanced Thin Films and Devices, School of Materials and Energy, Southwest University, Chongqing, 400715, China) ,  Chen Yujie (School of Mechanical Engineering, The University of Adelaide, Adelaide, SA, 5005, Australia) ,  Wu Shuai (Center for Advanced Thin Films and Devices, School of Materials and Energy, Southwest University, Chongqing, 400715, China) ,  Xie Wenling (Center for Advanced Thin Films and Devices, School of Materials and Energy, Southwest University, Chongqing, 400715, China) ,  Yan Weiqing (Key Laboratory of Beam Technology of Ministry of Education, College of Nuclear Science and Technology, Beijing Normal University, Beijing, 100875, China) ,  Wang Shu (Center for Advanced Thin Films and Devices, School of Materials and Energy, Southwest University, Chongqing, 400715, China) ,  Liao Bin (Key Laboratory of Beam Technology of Ministry of Education, College of Nuclear Science and Technology, Beijing Normal University, Beijing, 100875, China) ,  Zhang Sam (Center for Advanced Thin Films and Devices, School of Materials and Energy, Southwest University, Chongqing, 400715, China)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 195  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 0,20,50および70sccmの異なるN_2ガス流量(R_N)で新しいマルチアーク陰極真空磁気濾過堆積を用いて,超硬および耐食性(AlCrMoSiTi)N_x高エントロピー窒化物被覆を作製した。皮膜の元素組成,相構造,機械的,トライボロジーおよび腐食特性に及ぼすR_Nの影響を系統的に研究した。より高いR_Nは,非晶質から面心立方(FCC)相への変態をもたらす被覆中のより高いN含有量を促進した。高いN含有量49at%(R_N=70)では,コーティングは単純なFCC構造を示し,超硬度,優れた摩耗および耐食性の優れた組合せを提供した。最も高エントロピーセラミックを凌駕する(AlCrMoSiTi)Nコーティング(41.6GPa)の例外的な硬度は,強い金属-窒化物相の生成,固溶体強化および微細粒強化によって下がっている。したがって,(AlCrMoSiTi)N_x窒化物被覆は,その異常な機械的性質と耐食性のため,保護コーティングにおける潜在的用途を示す。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エントロピー ,  機械的性質 ,  固溶体 ,  *被覆 ,  耐食性 ,  *防食 ,  *窒化物 ,  *磁気 ,  非晶質 ,  トライボロジー ,  皮膜 ,  *カソード
準シソーラス用語： 元素組成 ,  ガス流量 ,  腐食挙動 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： (AlCrMoSiTi)N_x窒化物被覆 ,  マルチアーク陰極真空磁気ろ過堆積 ,  面心立方 ,  N_2ガス流速 ,  超硬度

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (10件)： マルチ ,  アーク ,  陰極 ,  真空 ,  磁気 ,  ろ過 ,  堆積 ,  防食 ,  エントロピー ,  窒化物