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J-GLOBAL ID：202202262705783977   整理番号：22A0478204

Shack-Hartmannセンサ用のダイヤモンド上のマイクロレンズアレイの作製【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of a microlens array on diamond for Shack-Hartmann sensor

著者 (10件)： Liang Yan (Key Laboratory for Physical Electronics and Devices of the Ministry of Education, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Liang Yan (Institute of Wide Band Gap Semiconductors, Shaanxi Key Lab of Information Photonic Technique, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Zhu Tianfei (Key Laboratory for Physical Electronics and Devices of the Ministry of Education, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Zhu Tianfei (Institute of Wide Band Gap Semiconductors, Shaanxi Key Lab of Information Photonic Technique, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Du Xinling (Key Laboratory for Physical Electronics and Devices of the Ministry of Education, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Du Xinling (Institute of Wide Band Gap Semiconductors, Shaanxi Key Lab of Information Photonic Technique, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Xu Jinliang (Key Laboratory of Power Station Energy Transfer Conversion and System of Ministry of Education, North China Electric Power University, Beijing 102206, China) ,  Fan Shuwei (Institute of Wide Band Gap Semiconductors, Shaanxi Key Lab of Information Photonic Technique, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Wang Hongxing (Key Laboratory for Physical Electronics and Devices of the Ministry of Education, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China) ,  Wang Hongxing (Institute of Wide Band Gap Semiconductors, Shaanxi Key Lab of Information Photonic Technique, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, China)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 121  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロレンズアレイを,Shack-Hartmannセンサのためのドライエッチング技術と熱リフローを結合することによってダイヤモンド上に実現した。最初に,フォトレジストピラーを標準フォトリソグラフィーによってダイヤモンド表面に開発した。次に,ダイヤモンド基板をホットプレート上に配置し,フォトレジストピラーをリフローして球状セグメントパターンを形成した。最後に,誘導結合プラズマエッチング法を用いてダイヤモンド上にこれらのパターンを移動させ,それによってダイヤモンドマイクロレンズアレイを形成した。作製したダイヤモンドマイクロレンズアレイは,90μmの直径,0.839mmの焦点距離,および良好な均一性と表面平滑度を有するマイクロレンズの球状プロファイルを示した。さらに,ダイヤモンドマイクロレンズアレイを,Shack-Hartmannセンサを形成するために,画像センサと組み合わせた。自己組織化Shack-Hartmannセンサを用いて,光学測定における球面波面を検出し,それは,外部空間および高エネルギー照射のような過酷な条件下で働く可能性を有する。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エッチング ,  *ダイヤモンド ,  光学的測定 ,  フォトレジスト ,  球面波 ,  焦点距離 ,  センサ ,  誘導結合プラズマ ,  *マイクロレンズ ,  ドライエッチング ,  イメージセンサ ,  自己組織化 ,  フォトリソグラフィー
準シソーラス用語： *Shack-Hartmannセンサ ,  *マイクロレンズアレイ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： マイクロレンズアレイ ,  Shack-Hartmannセンサ ,  単結晶ダイヤモンド ,  マイクロ光学

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： Shack-Hartmannセンサ ,  ダイヤモンド ,  マイクロレンズアレイ ,  作製