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J-GLOBAL ID：202202262732305192   整理番号：22A1071062

FIB-TOF-SIMSによる微小粒子の表面および断面の分析

Analysis of Surfaces and Interiors of Fine Particles Using FIB-TOF-SIMS

著者 (1件)： 坂本哲夫 (工学院大学先進工学部)
資料名： 表面と真空  (Vacuum and Surface Science)
巻： 65  号： 3  ページ： 115-120(J-STAGE)  発行年： 2022年 
JST資料番号： G0194B  ISSN： 2433-5835  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 独自に開発した高空間集束イオンビーム二次イオン質量分析装置(FIB-TOF-SIMS)について説明する。FIB-TOF-SIMSは,微小粒子のマイクロクロス切断や粒子内部の分析など,ユニークな機能を有している。3つのタイプのアプリケーションを説明する。1つ目はエアロゾルの個体粒子分析である。空気中の黄砂の化学反応をFIB-TOF-SIMS分析で明らかにした。2つ目は,生物学的な応用である。3次元培養(スフェロイド)した試料を断面解析した。最後は,福島第一原発の廃炉作業への応用である。最大の特徴は,FIB-TOF-SIMSに内蔵された波長可変チタンサファイアレーザーを用いた共鳴イオン化により,同位体干渉のない同位体イメージングを実現したことである。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,  *二次イオン質量分析 ,  *微粒子 ,  エアロゾル ,  表面分析 ,  黄砂 ,  化学反応 ,  細胞 ,  原子炉デコミッショニング ,  可変波長レーザ ,  Ti-サファイアレーザ ,  共鳴イオン化
準シソーラス用語： 微小粒子 ,  スフェロイド ,  廃炉 ,  波長可変レーザ ,  チタンサファイアレーザ ,  *TOF-SIMS

著者キーワード (12件)： ファイバー ,  TOF-SIMS ,  イメージング ,  高分解能 ,  粒子 ,  放射性同位元素 ,  ファイバー ,  TOF-SIMS ,  イメージング ,  高分解能 ,  粒子 ,  放射性同位元素

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

引用文献 (10件)：

• 1) Y. Nihei, H. Sato, S. Tatsuzawa, M. Owari, M. Ataka, R. Aihara, K. Azuma and Y. Kammei : J. Vac. Sci. Technol., B 5, 1254 (1987).
• 2) H. Satoh, M. Owari and Y. Nihei : J. Vac. Sci. Technol., B 6, 915 (1988).
• 3) T. Sakamoto, M. Koizumi, J. Kawasa-ki and J. Yamaguchi : Appl. Surf. Sci. 255, 1617 (2008).
• 4) https://www.data.go.jp/data/en/dataset/env_20170508_0237 (accessed on Jan 20, 2022).
• 5) S. Kojima, T. Michikawa, K. Ueda, T. Sakamoto, K. Matsui, T. Kojima, K. Tujita, H. Ogawa, H. Nitta and A. Takami : Eur. Heart J. 38, 3202 (2017).

タイトルに関連する用語 (2件)： 微小粒子 ,  分析