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J-GLOBAL ID：202202262736942577   整理番号：22A0475570

陰イオン交換膜によるイソプロピルアルコール/水溶液中のシリカナノ粒子除去の機構【JST・京大機械翻訳】

Mechanism of silica nanoparticles removal in an isopropyl alcohol/water solution with an anion exchange membrane

著者 (9件)： Fujimura Yu (Research and Development Division, Kurita Water Industries Ltd., 1-1 Kawada, Nogi-machi, Simotsuga-gun, Tochigi 329-0105, Japan) ,  Fujimura Yu (Graduate School of Science, Technology, and Innovation, Kobe University, 1-1 Rokkodai, Nada, Kobe 657-8501, Japan) ,  Kawakatsu Takahiro (Research and Development Division, Kurita Water Industries Ltd., 1-1 Kawada, Nogi-machi, Simotsuga-gun, Tochigi 329-0105, Japan) ,  Nakagawa Keizo (Graduate School of Science, Technology, and Innovation, Kobe University, 1-1 Rokkodai, Nada, Kobe 657-8501, Japan) ,  Nakagawa Keizo (Research Center for Membrane and Film Technology, Kobe University, 1-1 Rokkodai, Nada, Kobe 657-8501, Japan) ,  Shintani Takuji (Graduate School of Science, Technology, and Innovation, Kobe University, 1-1 Rokkodai, Nada, Kobe 657-8501, Japan) ,  Shintani Takuji (Research Center for Membrane and Film Technology, Kobe University, 1-1 Rokkodai, Nada, Kobe 657-8501, Japan) ,  Yoshioka Tomohisa (Graduate School of Science, Technology, and Innovation, Kobe University, 1-1 Rokkodai, Nada, Kobe 657-8501, Japan) ,  Yoshioka Tomohisa (Research Center for Membrane and Film Technology, Kobe University, 1-1 Rokkodai, Nada, Kobe 657-8501, Japan)
資料名： Journal of Molecular Liquids  (Journal of Molecular Liquids)
巻： 347  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0924A  ISSN： 0167-7322  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イソプロピルアルコール(IPA)は半導体デバイスの微細パターンを洗浄するために頻繁に使用され,IPAから微粒子を除去する技術は産業で望まれる。本研究では,アニオン交換膜を用いてシリカナノ粒子を除去し,IPA/水溶液中の粒子および膜についてゼータ電位測定を行った。また,分子動力学(MD)と密度汎関数理論(DFT)シミュレーションを行って除去機構を明らかにした。IPAの部分はIPA/水溶液の比率で増加したので,粒子のゼータ電位は負であり,一方,溶媒中のアニオン交換膜のそれは正から負に変化し,粒子は除去されなかった。この挙動の理由を,MDシミュレーションを用いて膜近くの塩化物イオンの移動を研究し,DFT理論シミュレーションを用いてエネルギーレベル図を構築することによって調べた。その結果,IPA比が増加すると,アニオン交換膜近傍における塩化物イオンと溶媒分子は電子を供与することが分かった。この開発は,微細汚染粒子の除去のためのより効果的な材料を探索する際に有用である。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： シミュレーション ,  半導体素子 ,  微粒子 ,  *ζ電位 ,  分子動力学 ,  密度汎関数法 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： 塩化物イオン ,  分子動力学シミュレーション ,  *アニオン交換膜 ,  *シリカナノ粒子 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： シリカナノ粒子 ,  陰イオン交換膜 ,  イソプロピルアルコール ,  分子動力学 ,  密度汎関数理論 ,  表面洗浄

分類 (2件)： 膜分離  (XD02120Z) ,  用水の物理的処理  (SC02030T)

物質索引 (1件)： 2-プロパノール

タイトルに関連する用語 (4件)： 陰イオン交換膜 ,  イソプロピルアルコール ,  水溶液 ,  シリカナノ粒子