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J-GLOBAL ID：202202262791371705   整理番号：22A0461889

ゲルマニウム-アンチモン-セレン-テルル薄膜:レーザアブレーションによるクラスタ形成と元素の混合物からのクラスタとの比較【JST・京大機械翻訳】

Germanium-antimony-selenium-tellurium thin films: Clusters formation by laser ablation and comparison with clusters from mixtures of elements

著者 (7件)： Huang Fei (Department of Chemistry, Faculty of Science, Masaryk University, Brno, Czech Republic) ,  Halenkovic Tomas (Department of Graphic Arts and Photophysics, Faculty of Chemical Technology, University of Pardubice, Pardubice, Czech Republic) ,  Baillieul Marion (Department of Graphic Arts and Photophysics, Faculty of Chemical Technology, University of Pardubice, Pardubice, Czech Republic) ,  Nazabal Virginie (Department of Graphic Arts and Photophysics, Faculty of Chemical Technology, University of Pardubice, Pardubice, Czech Republic) ,  Nazabal Virginie (Institut des Sciences Chimiques de Rennes UMR 6226, Centre nationale de la recherche scientifique, ScanMAT UMS 2001, Universite de Rennes 1, Rennes, France) ,  Nemec Petr (Department of Graphic Arts and Photophysics, Faculty of Chemical Technology, University of Pardubice, Pardubice, Czech Republic) ,  Havel Josef (Department of Chemistry, Faculty of Science, Masaryk University, Brno, Czech Republic)
資料名： Journal of the American Ceramic Society  (Journal of the American Ceramic Society)
巻： 105  号： 3  ページ： 1992-2000  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0253A  ISSN： 0002-7820  CODEN： JACTAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波マグネトロンスパッタリングによるGe_19.4Sb_16.7Se_63.9-xTe_x(x=5,10,15,および20)ガラスセラミックターゲットから堆積した四元ゲルマニウム-アンチモン-セレン-テルル(Ge-Sb-Se-Te)薄膜を,レーザアブレーション四重極イオントラップ飛行時間法を用いて調べた。二元,三元および四元Ge_aSb_bSe_cTe_dクラスタを形成し,それらの化学量論を決定した。四元Ge-Sb-Se-Te薄膜から得たクラスタと三元Ge-Sb-Te材料から得たクラスタの比較によって,Ge-Te化学種が四元系から検出されなかったことを見出した。さらに,Ge-SeとSe-Te種はGe-Sb-Se-Te薄膜から発生した質量スペクトルに欠けていた。Ge-Sb-Se-Te薄膜から,16クラスタが検出され,一方,三元Ge-Sb-Seガラスは26種を生成した。これは,Teの高い含有量で増加するGe-Sb-Se-Te薄膜のより高い安定性の信号と考えられる。欠損(Se_2+,Ge_aSb+(a=1-4),およびGeSe_c+(c=1,2))および新しい(Ge+およびSb_bTe+(b=1-3))クラスタは,膜(Ge_2Se_6/2およびSe_2Sb-SbSe_2)の幾つかの構造的特徴が(GeSe_4-xTe_xおよびSbSe_3-xTe_x)によって置換されることを示した。さらに,Ge-Sb-Se-Te薄膜から形成されるクラスタの化学量論を元素の混合物からのものと比較するとき,Sb_3+とSbSe+だけが両方の場合で観察された。クラスタ化学量論に関して得られた知識は,カルコゲン化物薄膜堆積に用いるプラズマ形成中に進行する過程の解明に寄与する。Copyright 2022 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ガラス ,  プラズマ ,  質量スペクトル ,  質量分析 ,  *薄膜 ,  *テルル ,  非晶質 ,  化学量論 ,  カルコゲン化物 ,  *クラスタ ,  構造特性 ,  化学種 ,  *レーザアブレーション
準シソーラス用語： 四成分系 ,  RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： 非晶質カルコゲン化物 ,  クラスタ ,  Ge-Sb-Se-Te ,  レーザアブレーション ,  マグネトロンスパッタリング ,  質量分析 ,  薄膜

分類 (2件)： ガラスの製造  (YC02020O) ,  ガラスの性質・分析・試験  (YC02030Z)

タイトルに関連する用語 (10件)： ゲルマニウム ,  アンチモン ,  セレン ,  テルル ,  薄膜 ,  レーザアブレーション ,  クラスタ形成 ,  元素 ,  混合物 ,  クラスタ