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J-GLOBAL ID：202202263907017288   整理番号：22A0230941

摩擦腐食性能を改善するための(CrNbTiAlV)N_x高エントロピー窒化物膜のためのコンパクトなナノ結晶構造の構築【JST・京大機械翻訳】

Construction of a compact nanocrystal structure for (CrNbTiAlV)N_x high-entropy nitride films to improve the tribo-corrosion performance

著者 (11件)： Zhang Cunxiu (School of Materials Science and Engineering, China University of Petroleum (East China), Qingdao 266580, China) ,  Zhang Cunxiu (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Science, Lanzhou 730000, China) ,  Lu Xiaolong (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Science, Lanzhou 730000, China) ,  Lu Xiaolong (Qingdao Center of Resource Chemistry and New Materials, Qingdao 266000, China) ,  Zhou Haibin (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Science, Lanzhou 730000, China) ,  Zhou Haibin (Qingdao Center of Resource Chemistry and New Materials, Qingdao 266000, China) ,  Wang Yanfang (School of Materials Science and Engineering, China University of Petroleum (East China), Qingdao 266580, China) ,  Sui Xudong (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Science, Lanzhou 730000, China) ,  Sui Xudong (Qingdao Center of Resource Chemistry and New Materials, Qingdao 266000, China) ,  Shi ZhiQiang (School of Materials Science and Engineering, China University of Petroleum (East China), Qingdao 266580, China) ,  Hao Junying (State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Science, Lanzhou 730000, China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 429  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (CrNbTiAlV)N_x高エントロピー窒化物膜をマグネトロンスパッタリング法を用いて調製した。膜の微細構造,機械的,電気化学的および摩擦-腐食特性に及ぼす基板バイアスの影響を系統的に研究した。その結果,膜の微細構造は,基板バイアスの増加とともに,緩い柱状構造から緻密なナノ結晶構造に変化し,(200)から(111)への優先配向を伴った。硬度,弾性率および残留応力は,基板バイアスの増加と正に相関し,-156Vで,それぞれ35.3GPa,353.7GPaおよび-6.41GPaの最大値に達した。静的腐食の下で,-126Vで堆積した膜は-0.05Vの最も正のE_corrと0.013μA/cm2の最も低いi_corrを有した。トライボ腐食の下で,-96Vと-126Vで堆積した膜は,それぞれ,最も低い摩擦係数(ε≦0.2)と摩耗率(ε≦4.4×10-7mm3・N-1・m-1)を示した。ミクロ組織と機械的性質の変化は,(CrNbTiAlV)N_x膜の摩擦腐食挙動に影響する主な要因である。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エントロピー ,  機械的性質 ,  残留応力 ,  弾性係数 ,  微細構造 ,  *腐食 ,  摩擦係数 ,  電気化学 ,  硬度 ,  マグネトロンスパッタリング ,  優先配向 ,  摩耗率
準シソーラス用語： 基板バイアス ,  柱状構造 ,  腐食挙動 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 高エントロピー窒化物膜 ,  基板バイアス ,  微細構造 ,  摩擦腐食性能 ,  マグネトロンスパッタリング

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 摩擦 ,  腐食 ,  エントロピー ,  窒化物膜 ,  ナノ結晶構造 ,  構築