文献

J-GLOBAL ID：202202264330298245   整理番号：22A0974538

ジブロック共重合体球の自己指向性集合を有するセンチメートルスケールにおける単結晶2D六角形アレイ【JST・京大機械翻訳】

A Single Crystal 2D Hexagonal Array in a Centimeter Scale with a Self-Directed Assembly of Diblock Copolymer Spheres

著者 (3件)： Kim Ye Chan (School of Chemical and Biological Engineering, Institute of Chemical Processes, Seoul National University, Republic of Korea) ,  Kim Ye Chan (School of Energy and Chemical Engineering, Ulsan National Institute of Science and Technology, Republic of Korea) ,  Kim So Youn (School of Chemical and Biological Engineering, Institute of Chemical Processes, Seoul National University, Republic of Korea)
資料名： ACS Nano  (ACS Nano)
巻： 16  号： 3  ページ： 3870-3880  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2326A  ISSN： 1936-0851  CODEN： ANCAC3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大面積(約1cm2)にわたる単一結晶粒二次元(2D)ナノアレイの創製は,複雑な多化学プロセスを含む高価なリソグラフィー製造で実現した。本研究では,ブロック共重合体(BCP)薄膜における自己指向性集合(SDA)の概念を有するセンチメートル規模の大面積にわたる高度に整列した単一結晶粒2D結晶ナノアレイの生産を報告する。SDAではリソグラフィーガイドパターンを採用しなかった。球形成BCPは最初に過渡的円筒に変態し,剪断で整列する。整列円筒は,次の溶媒蒸気アニーリングで単一結晶粒2D結晶アレイを生成する球形態を回復するためのガイドパターンとして作用する。SDAプロセスは,2つの支配パラメータ,即ち,第一段階における導波パターンの配向秩序と,過渡的導波円筒と回復球の間の格子整合である。SDAの成功した適用は,画像処理アルゴリズムおよびすれすれ入射小角X線散乱(GISAXS)測定を採用することによって確認される,例外的な長距離秩序を有する2D結晶六角形ナノアレイの単一結晶粒をもたらした。提案したSDA戦略は,リソグラフィーツールのない大規模ナノパターニングに有効であることが分かった。Copyright 2022 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アラインメント ,  焼なまし ,  剪断 ,  *単結晶 ,  薄膜 ,  化学プロセス ,  結晶粒 ,  長範囲規則度 ,  *二次元 ,  リソグラフィー ,  配向秩序 ,  *ジブロック共重合体 ,  パターン形成 ,  ナノ構造
準シソーラス用語： ナノパターニング ,  ナノアレイ ,  斜入射小角X線散乱 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 単結晶 ,  2D六角形アレイ ,  自己指向組立 ,  ブロック共重合体 ,  ナノパターン形成

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (9件)： ジブロック共重合体 ,  自己 ,  指向性 ,  集合 ,  スケール ,  単結晶 ,  2D ,  角形 ,  アレイ