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J-GLOBAL ID：202202264625075436   整理番号：22A1077420

半導体業界の常識を知恵と工夫で打破!水冷ヒートポンプ有効活用による純水加温蒸気量1/2への挑戦

Introduction of Our Challenge for 50% Reduction of Pure Water Heated Steam Amount Achieved by our Breaking Through Idea using “Water-Cool Heat Pump Method”

著者 (1件)： 山下幸四朗 (デンソー)
資料名： DENSO Technical Review (Web)  (DENSO Technical Review (Web))
巻： 26  ページ： 29-38 (WEB ONLY)  発行年： 2022年02月28日 
JST資料番号： U2433A  ISSN： 1342-4114  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 工場でカーボンニュートラルを達成するために,挑戦的な努力を続けてきている。著者らの半導体工場におけるユーティリティ設備の効率は,著者らのブレークスルーアイデアに基づいて劇的に改善され,大きな省エネルギー効果を達成した。3つの成功した努力を紹介する。それらは,著者らの工業的な一般的意味とは別に,新しい観点から提案されたユニークなアイデアによって達成される。1)より少なく:消費電力はクリーンルームの空調システムを「ジャストインタイム」として運用することで,既存の設備投資や建設期間が少なくても消費電力を抑えている。2)停止:既存のシステムでは,純粋な水質を維持するために,補給水を継続的に供給する必要があったが,そのような補給は必要なし。真新しいシールポットシステムを開発し,このシステムは「連続補給水供給」を停止し,適切なタイミングで断続的な補給水供給を実現している。このシールポットシステムにより,同じ純水品質で水消費の96%の削減を達成した。このシステムは,現在,水処理メーカーの工業標準になっている。3)変化:純水加熱方式を,工業的な通常の方法から,独自の発想で「蒸気」方式から「水冷ヒートポンプ方式」に変更した。そして,加熱蒸気量の50%削減を水冷ヒートポンプ法の適用によって達成した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 製造 ,  *物質収支 ,  省エネルギー ,  水 ,  ヒートポンプ ,  水蒸気 ,  減少
準シソーラス用語： 半導体製造 ,  *カーボンニュートラル ,  補給水

分類 (2件)： 環境問題  (SA01020V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 常識 ,  水冷ヒートポンプ ,  有効活用 ,  純水 ,  加温 ,  蒸気