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J-GLOBAL ID:202202265013850684   整理番号:22A0979055

イオン環境における電場を測定するためのバイアス電気フローティングカバーを有するMEMS電界センサ【JST・京大機械翻訳】

MEMS Electric Field Sensor with Biased Electrically Floating Cover to Measure Electric Field in Ionic Environments
著者 (4件):
資料名:
巻: 2022  号: CPEEE  ページ: 175-179  発行年: 2022年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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電場測定はHVDC分野で広く適用されている。しかし,パッケージセンサを用いたイオン環境におけるdc電場の測定は困難である。センサがエンクロージャにパッケージされたとき,エンクロージャ表面上の環境からの電荷粒子の着陸はオフセット電場を与え,測定誤差を引き起こす。本論文では,パッケージカバー上のイオン着陸を防止するために,パッケージセンサ上に電気的に浮遊する金属カバーをバイアスする方法を提案し,一方,エンクロージャに外部の電場を測定できた。実験結果は,浮遊カバーが予めバイアスされたとき,イオン電荷蓄積を減少,除去できることを示した。センサ感度は70mV(kV/m)-1で,環境中に存在するイオン電荷の有無で残った。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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図形・画像処理一般 

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