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J-GLOBAL ID：202202266455378386   整理番号：22A1150641

ロータリー真空ポンプを対象とするMEMS振動センサー計測データ分析に基づくポンプ負荷・稼働状態を特定する指標

Index to Identify the Load and Operational Status of Rotary Vacuum Pump based on the Low Frequency MEMS Sensor.

著者 (3件)： 西川正名 (サイエンスソリューションズ) ,  川原知也 (サイエンスソリューションズ) ,  永井佑典 (中日本炉工業)
資料名： 日本設備管理学会誌  (Journal of the Society of Plant Engineers Japan)
巻： 34  号： 1  ページ： 15-20  発行年： 2022年04月12日 
JST資料番号： L3298A  ISSN： 0915-5023  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 低周波数域MEMS振動センサーを用いたロータリー真空ポンプの振動計測・分析を行った結果,軸回転数と加速度rms,および速度rmsとの相関がポンプ負荷状態・稼動状態の指標となる事を見出した。本指標は,対象ポンプの運用実績,および同一センサーを利用した設備異常時の振動特性分析結果と整合している。上記センサーは安価で,指標計算ロジックは簡単なので,安価簡単なポンプ運用管理支援装置・システムの構築を可能とするので,一般産業で使用されるポンプの運転条件改善・整備状態確認・機器異常の早期発見等に適用できる。なお,本指標はロータリーポンプ以外の回転機器への適用,高周波域も含む計測データ分析にも適用可能と考える。(著者抄録)

シソーラス用語： *振動測定 ,  *回転ポンプ ,  真空ポンプ ,  熱処理炉 ,  回転機械 ,  故障検出
準シソーラス用語： *ロータリーポンプ ,  回転機器 ,  *振動センサ

分類 (1件)： 真空ポンプ  (QD04030I)

引用文献 (1件)：

• 中山慎司 2021年6月 設備管理学会春季講演会発表、A-3.1 安価なMEMS振動センサーによる回転機械の異常振動の診断とAIを応用した振動スペクトルの自動判定

タイトルに関連する用語 (8件)： ロータリー ,  真空ポンプ ,  MEMS ,  振動センサー ,  計測 ,  データ分析 ,  稼働 ,  指標