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J-GLOBAL ID:202202266801427578   整理番号:22A0329229

空間分解した多元素レーザアブレーションイオン源の特性評価【JST・京大機械翻訳】

Characterization of a Spatially resolved multi-element laser ablation ion source
著者 (18件):
資料名:
巻: 472  ページ: Null  発行年: 2022年 
JST資料番号: D0625A  ISSN: 1387-3806  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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レーザアブレーションイオン源(LAS)は,質量分光計キャリブレーションまたは表面研究応用のために多様な種類のイオンが製造できる強力なツールである。制御された方法で材料を選択的にアブレーションし,アブレーションによる標的表面の劣化を緩和するために,ターゲット上のレーザ位置を頻繁にシフトする必要がある。回転ホイールまたはx-y並進ステージにターゲットを取り付ける代替は,レーザスポット位置をモータ化運動学ミラーマウントから最終反射にシフトすることである。そのようなシステムは,2軸モータ化ミラーと種々の金属ターゲットで,組み立てられ,特徴付けられた。ここで示したシステムにおいて,イオンはターゲット表面からアブレーションされ,イオン電流が測定されるFaradayカップに90°四重極ベンダーにより誘導される。ターゲットの空間分解走査は,ミラーモータを作動させ,ターゲットを横切るレーザスポットを移動させ,イオン電流の同期測定を行って,直径50mmまでのターゲット表面の2D画像を構築した。システムの空間分解能を鋼とニオブのような金属間の界面を走査して測定し,LASが直径≒50μmの面積を選択的に除去できることを示した。本研究は,市販および特注の飛行時間型質量分析計のための多元素イオン源として役立つか,あるいは試料の表面特異的領域を選択的に研究するための,その後のLASシステムの開発を知っている。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (3件):
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レーザの応用  ,  質量分析  ,  質量分析計 
タイトルに関連する用語 (5件):
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