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J-GLOBAL ID：202202266822131026   整理番号：22A0230820

1.5MeV陽子照射によるスプレー堆積CdO薄膜の改質【JST・京大機械翻訳】

Modification of spray-deposited CdO thin films by 1.5 MeV proton irradiation

著者 (4件)： Abdel Naseem S. (Department of Physics, Faculty of Science, University of Zakho, 42002 Duhok, Kurdistan Region, Iraq) ,  Ihsan Hanaa (Department of Physics, College of Education, University of Mosul, 41002 Mosul, Iraq) ,  Noori Farah T.M. (Department of Physics, Faculty of Science, University of Baghdad, 10071 Baghdad, Iraq) ,  Pallon Jan (Division of Nuclear Physics, Department of Physics, Lund University, SE-221 00 Lund, Sweden)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 511  ページ： 57-63  発行年： 2022年 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 78~250nmの範囲の異なる厚さを有する酸化カドミウム(CdO)の薄膜を調製し,噴霧熱分解法を用いてガラス基板上に堆積させた。2×1012~2×1014イオン/cm2の範囲のフルエンスに対して1.5MeV陽子ビームで製作したCdO薄膜を照射するために,マイクロビーム施設(Lundイオンビーム分析施設)を用いた。CdO膜の表面形態を原子間力顕微鏡で測定し,粒径と表面粗さがイオンフルエンスの関数として増加することを観察した。UV分光光度計を用いて試料の光学的性質を研究し,その結果,吸収と光学バンドギャップはプロトンフルエンスとCdO膜の厚みの増加と共に増加することが明らかになった。本研究では,低エネルギー陽子照射を用いたCdO材料改質の可能性を調べた。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： イオンビーム ,  光学的性質 ,  *薄膜 ,  分光光度計 ,  *陽子 ,  *陽子照射 ,  陽子ビーム ,  酸化カドミウム ,  フルエンス ,  原子間力顕微鏡 ,  光学ギャップ
準シソーラス用語： 表面形態 ,  ガラス基板 ,  マイクロビーム ,  イオンフルエンス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 陽子照射 ,  イオンビーム施設 ,  CdO薄膜 ,  UV-可視分光法

分類 (2件)： 半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E) ,  その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 陽子照射 ,  スプレー ,  堆積 ,  CdO ,  薄膜 ,  改質