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J-GLOBAL ID：202202266880810602   整理番号：22A0909871

Siナノピラー表面上の大きな横方向接触剛性【JST・京大機械翻訳】

Large lateral contact stiffness on Si nanopillar surfaces

著者 (6件)： Ishii Y. (Department of Physics, Aichi University of Education, Hirosawa 1, Igaya-cho, Kariya 448-8542, Japan) ,  Yanagisawa R. (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan) ,  Watanabe N. (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan) ,  Nomura M. (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan) ,  Sasaki N. (Department of Engineering Science, Graduate School of Informatics and Engineering, The University of Electro-Communications, 1-5-1 Chofugaoka, Chofu, Tokyo 182-8585, Japan) ,  Miura K. (Department of Physics, Aichi University of Education, Hirosawa 1, Igaya-cho, Kariya 448-8542, Japan)
資料名： AIP Advances (Web)  (AIP Advances (Web))
巻： 12  号： 2  ページ： 025225-025225-3  発行年： 2022年 
JST資料番号： U7121A  ISSN： 2158-3226  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： サブミクロンスケールの先端の滑り挙動を同定するために,摩擦力顕微鏡とピラー表面の先端間の横方向接触剛性(k_接触x)を研究した。k_接触xと平均横方向力(<F>)をピラー直径φの関数として系統的に測定した。単一Siピラー表面のk_接触xは増加したが,φがマイクロメータからナノメータスケールに減少すると,<F>は急速に減少した。この矛盾は動的滑りから静的付着への先端挙動の変化によって説明できた。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 滑り ,  *接触 ,  付着 ,  *ケイ素 ,  *剛性 ,  マイクロメータ ,  力顕微鏡
準シソーラス用語： 摩擦力顕微鏡 ,  *ナノピラー ,  *接触剛性 ,  横方向力 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (4件)： Si ,  ナノピラー ,  横方向 ,  接触剛性