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J-GLOBAL ID:202202267746470358   整理番号:22A0788340

ネットワークブースト36%スカルンプット線形アレイのマッチング【JST・京大機械翻訳】

Matching Network-Boosted 36% Scaln Pmut Linear Array
著者 (5件):
資料名:
巻: 2022  号: MEMS  ページ: 251-254  発行年: 2022年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本研究では,変換器のアーキテクチャにMEMSベースの整合ネットワーク(MN)を統合することによって,圧電マイクロマシン超音波変換器(pMUT)アレイの性能を増加させる技術を提示する。MNは,pMUT電極間に蓄積した無効電力の回復を促進し,その結果,それらの間の電圧を受動的にブースティングする。より高い電圧は,送信機として使用するとき,デバイスを発生でき,受信機として使用するとき,その感度を強化する。本研究では,2つの別々のMN型:インダクタとMEMS共振器に対する電圧利得のシミュレーションを示した。本解析は,1.93MHzの空気で伝送する10素子Sc_0.36Al_0.64N pMUT線形アレイについて実験的に検証した。オフチップ138μHインダクタと市販のオフシェルセラミック共振器をMNとして用いて,pMUT変位を,それぞれ20nm/Vから70と225nm/Vまで,3.5と11の因子で受動的に増加させた。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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図形・画像処理一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
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