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J-GLOBAL ID：202202268162850159   整理番号：22A0741971

パターン形成永久磁石とCu-Ni集積マイクロコイルにより作動する双安定機構【JST・京大機械翻訳】

A bi-stable mechanism actuated by patterned permanent magnet and Cu-Ni integrated micro-coil

著者 (6件)： Wang Yue (Institute of Electronic Engineering, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, People’s Republic of China) ,  Xie Jin (Institute of Electronic Engineering, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, People’s Republic of China) ,  Zhang Fengtian (Institute of Electronic Engineering, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, People’s Republic of China) ,  Tao Fenggang (Institute of Electronic Engineering, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, People’s Republic of China) ,  Xiong Zhuang (Institute of Electronic Engineering, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, People’s Republic of China) ,  Zhi Chao (Institute of Electronic Engineering, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, People’s Republic of China)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 32  号： 3  ページ： 035005 (7pp)  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,主に懸濁質量,スペーサおよび底板から成る双安定機構を提示した。電磁作動は,2つの状態(すなわち,ΔΔO_n/Off’状態)の間のスイッチングに使用される。作動は,底板に埋め込まれた懸濁質量とマイクロコイル上の永久磁石(PM)によって達成される。従来の設計における螺旋コイルと中心コアと異なり,本論文におけるマイクロコイルは,全体としてCuとNiを統合し,コイルと強磁性コアの両方として作用する。この統合は1マスクプロセスへの製作を単純化する。さらに,チェスボードパターン化PMをCu-Ni集積マイクロコイルで利用し,強化力密度を生成した。双安定機構を設計し,製作し,実験的に特性化した。この機構の全サイズは16×14×2mm3である。どちらの状態も保持するためには電力は必要でない。スイッチングプロセス(ΔΔO_n’から「’O_ff’と’O_n’)は,それぞれ24G(重力)と37Gの外部加速で実現できる。さらに,リセット(すなわち,ΔΨOff’)は,1.5Aの電流入力で達成できた。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 強磁性 ,  懸濁液 ,  電流 ,  簡素化 ,  電力 ,  実験 ,  *銅 ,  *ニッケル ,  *永久磁石 ,  スペーサ ,  *インダクタ ,  *コイル状体 ,  機構 ,  *双安定性 ,  *パターン形成
準シソーラス用語： マイクロコイル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： パターン形成 ,  永久磁石 ,  Cu ,  Ni ,  集積 ,  マイクロコイル ,  双安定