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J-GLOBAL ID:202202268402972698   整理番号:22A1083028

Ar/NH_3DBDの放電特性と生成物に及ぼす誘電率と二次電子放出係数の影響【JST・京大機械翻訳】

Effects of dielectric constant and secondary electron emission coefficient on discharge characteristics and products of Ar/NH3 DBD
著者 (8件):
資料名:
巻: 29  号:ページ: 033512-033512-17  発行年: 2022年 
JST資料番号: T0641B  ISSN: 1070-664X  CODEN: PHPAEN  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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大気Ar/NH_3誘電体バリア放電(DBD)は,表面処理,薄膜表面堆積,水素貯蔵などに有望な用途を有する一種の均一誘電体バリア放電である。Ar/NH_3DBDの特性と応用効果は誘電材料,電極構造,ガス雰囲気に強く依存する。本論文では,Ar/NH_3ガス混合物中の放電特性と生成物分布に及ぼす障壁誘電体材料の誘電率と二次電子放出係数(SEEC)の影響を調べるために,一次元流体数値シミュレーションモデルを確立した。その結果,誘電率の増加は,放電モーメントをわずかに早く(放電相17.5°-5°),放電強度(放電電流),プラズマパラメータ,および放電生成物,ならびにそれらの収率に大きな影響を与えることが分かった。SEECの増加は,放電モーメントを著しく早く(放電相27.5°から-5°)にする一方で,放電強度(放電電流),プラズマパラメータ,および放電生成物およびそれらの収率への影響は少なかった。これに基づき,放電特性と生成物に及ぼす2つの誘電パラメータの影響を記述するための可能な戦略を提案した。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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気体放電 
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