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J-GLOBAL ID：202202268821519760   整理番号：22A0732542

Siの軸方向および平面方向に沿った陽子のチャネリングパラメータの研究【JST・京大機械翻訳】

The study of channeling parameters of protons along axial and planar directions of Si

著者 (2件)： Shafiei S. (Physics and Accelerators Research School, Nuclear Science and Technology Research Institute, AEOI, P.O.Box:113653486, Tehran, Iran) ,  Lamehi-Rachti M. (Physics and Accelerators Research School, Nuclear Science and Technology Research Institute, AEOI, P.O.Box:113653486, Tehran, Iran)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 515  ページ： 7-13  発行年： 2022年 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,チャンネルの原子ポテンシャルの観点から,Siの<100>,<110>,{100}および{110}方向に沿った陽子の平均チャネリング距離,ランダム阻止能に対するチャネリングの比,チャネリングパラメータを研究した。チャネリングパラメータを,指数関数的デチャネリング関数に基づくチャネリングRutherford後方散乱スペクトルのシミュレーションを用いて推論した。最良のシミュレーションパラメータをLevenberg-Marquardtアルゴリズムを用いて設定した。RBS/Cスペクトルを,Siウエハを用いて,エネルギー間隔1400~2200keVで行った。<100>,<110>,{100}および{110}方向に沿った推定パラメータをチャネルの原子ポテンシャルの観点から考察し,文献で報告されている〈111〉および{111}チャネルに沿ったデータを用いて,〈111〉および{111}方向に沿った陽子のチャネリング挙動を,浅いおよび深いポテンシャルに関して説明した。最後に,{111}チャネルに沿った平均チャネリング距離を推定した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： イオン ,  原子 ,  シミュレーション ,  阻止能 ,  *チャネリング ,  *陽子 ,  *ケイ素 ,  指数関数 ,  スペクトル ,  軸方向 ,  チャネル ,  Rutherford後方散乱
準シソーラス用語： デチャネリング ,  シリコンウエハ ,  Levenberg-Marquardt法 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Rutherford後方散乱分光法のチャネリング ,  陽子イオン ,  チャネリング阻止能 ,  平均チャネリング距離 ,  原子ポテンシャル

分類 (1件)： チャネリング,ブロッキング,粒子のエネルギー損失  (BK16100J)

タイトルに関連する用語 (3件)： Si ,  陽子 ,  研究