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J-GLOBAL ID：202202268849985964   整理番号：22A0438600

多孔質シリコンフォトニック結晶の比色応答に基づく化学センサ【JST・京大機械翻訳】

Chemical sensor based on the colorimetric response of porous silicon photonic crystal

著者 (3件)： Ivanov I.I. (Taras Shevchenko National University of Kyiv, 64 Volodymyrska, Kyiv 01601, Ukraine) ,  Skryshevsky V.A. (Taras Shevchenko National University of Kyiv, 64 Volodymyrska, Kyiv 01601, Ukraine) ,  Belarouci A. (Lyon Institute of Nanotechnologies, CNRS, Ecole C e ntrale de Lyon, Universite de Lyon, 36 Avenue Guy de Collongue, Ecully 69134, France)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 333  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,計算機シミュレーションを行い,多孔質シリコン(PS)系フォトニック結晶(PC)の光学応答のキャラクタリゼーションのためのCIE1931色空間に基づく比色法の適用を実験的に調べた。主波長(λ_dom)および励起純度(EP)としての比色パラメータを測定し,Braggピーク位置λ_0およびFWHMとして従来のPCパラメータと比較した。比色パラメータを,二層の多孔性値の異なるセットとBraggピークλ_0(空気)の位置を有するPCに対して得た。PSセンサ構造をSiウエハの電気化学的陽極酸化の方法によって製造した。PCセンサの比色感度は,より小さい屈折率を有する構造でより高かった。比色パラメータは,Braggピーク位置として従来のパラメータとは対照的に,光学センサの全体の複雑なスペクトルの修正を特徴付ける。エタノールの吸着/脱着中のPCパラメータに対する比色パラメータの時間依存性を決定した。センサ特性化のための比色法は,スペクトルの座標依存性パラメータを有する人工舌/鼻として迅速分散センサシステムを開発するのに好ましい。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 吸着 ,  屈折率 ,  脱着 ,  アノード酸化 ,  励起 ,  計算機シミュレーション ,  波長 ,  *比色分析 ,  純度 ,  スペクトル ,  光センサ ,  *フォトニック結晶 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  Braggピーク , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (8件)： 比色センサ ,  フォトニック結晶 ,  化学センサ ,  吸着/脱着 ,  分散Bragg反射器 ,  人工舌/鼻 ,  多孔質シリコン ,  CIE1931

分類 (4件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  色  (BD03090A) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (5件)： 多孔質シリコン ,  フォトニック結晶 ,  比色 ,  応答 ,  化学センサ